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一种蛋白质基底上氧化锌基薄膜晶体管制备方法(TFT,柔性显示技术,屏显素级精准调控)

Name: 一种蛋白质基底上氧化锌基薄膜晶体管制备方法(TFT,柔性显示技术,屏显素级精准调控)
Brand: 成都权翼网络科技有限公司
SKU: 2019106706285
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910670628.5 📄 发布日：2026/08/24

著录项目信息

申请日

2019-07-24

公开号

CN110379716B

公开日

2021-08-20

申请人

成都权翼网络科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_34

IPC 分类号

H01L21_34 , H01L29_786 , C23C14_04 , C23C14_30 , C23C14_20 , C23C14_08 , C23C14_35 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

柔性显示, 可穿戴电子设备, 透明电子器件, 生物电子界面, 医疗传感器

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摘要

本发明公开一种蛋白质基底上氧化锌基薄膜晶体管制备方法，包括步骤：1：配置得到蛋白质溶液；步骤2：将蛋白质溶液滴于平整的聚对苯二甲酸乙二酯塑料板上，待溶剂挥发后，干燥脱板获得可降解的圆形蛋白质基底薄膜；步骤3：在所述蛋白质基底薄膜上覆盖第一掩膜板，蒸镀铝薄膜，形成栅电极；步骤4：在所述栅电极上覆盖第二掩膜板，溅射沉积HfO2绝缘层薄膜；其中，靶溅射功率为140～160W，温度为85～95℃，压力7.5～8.5mtorr，Ar/O2为8.5:1～9.5:1，沉积时间为1.5～2.5h，HfO2绝缘层薄膜厚度为190～210nm；步骤5：在所述绝缘层薄膜上覆盖第三掩膜板，溅射沉积锡掺杂氧化锌有源层薄膜；步骤6：在所述有源层薄膜上覆盖第四掩膜板，蒸镀源极和漏极后，获得可降解薄膜晶体管。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20260116

?? 专利权的转移：

20210820

✅ 授权

20191119

?? 实质审查的生效：

20191025

📄 公开

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