本发明提供了一种TSV缺陷检测装置及其检测方法，本发明装置包括：三维空间移动定位平台、半导体激光激励单元、热图像采集单元、信号重构与处理单元和控制单元，采用共轭激光束对TSV样片进行热激励，并测量TSV样片表面温度分布及其随时间演变状况，得到序列热图像，然后利用时间插值及图像超分辨率重构技术得到具有更高时间和空间解析度的温度/热信号，通过更丰富的高频信号特征进行TSV失效预测和缺陷诊断。
📄 2016103380887
📂 H01L21_66
👤 东莞锐信仪器有限公司
📅 2016-05-20
本实用新型公开了一种集成电路测试分选机，其包括输送装置，所述输送装置的上表面设有吸尘装置、次品检测器、分选装置，所述吸尘装置、分选装置分别位于输送装置的上表面两侧，所述次品检测器位于吸尘装置、分选装置之间，所述吸尘装置包括导向杆、丝杆、滑块、第二安装板、第一电机、真空泵、灰尘收集箱、伸缩管、吸尘头，所述导向杆对称分布在输送装置的上表面，所述第二安装板的底端固定连接在导向杆的上表面，所述第一电机、真空泵、灰尘收集箱固定安装在第二安装板的上表面，所述丝杆的一端固定安装在第一电机的输出端。通过上述结构，可以快速、高效地吸收和收集各种尺寸的灰尘颗粒，防止灰尘对集成电路测试产生的负面影响。
📄 2024211121225
📂 H01L21_66
👤 北京旺达世嘉科技发展有限公司
📅 2024-05-21
本发明涉及一种半导体加工用晶圆缺陷检测设备，涉及晶圆检测技术领域，包括带动晶圆移动的晶圆输送机，晶圆输送机的端部设有交错上料机构，而交错上料机构的两侧对称式设有呈矩形阵列式设置的检测机构，通过交错上料机构将一侧的晶圆送入检测机构中进行监测，等待过程中将新的晶圆移动至另一侧，出料的同时将新的晶圆送入另一侧的检测机构中，从而增加该检测设备的检测效率；其中，交错上料机构包括工作机架，工作机架具有支撑框架，支撑框架的下方呈矩形阵列式固定连接有支撑底柱，而支撑框架的上方呈矩形阵列式设有晶圆检测滑座，而支撑框架上固定连接有与晶圆检测滑座对应的限位滑轨，从而带动晶圆平行移动。
📄 2025111839390
📂 H01L21_66
👤 无锡永井电子有限公司
📅 2025-08-22
本实用新型公开了一种光伏板检测装置，涉及光伏板生产技术领域，包括基板；所述基板包括长检测板，设于所述长检测板上的活动连接件，设于所述活动连接件另一端的短检测板；设于所述长检测板上的第一检测头、设于所述短检测板上的第二检测头；其中，所述活动连接件包括滑套式连接于长检测板上的长条板，所述长条板的另一端与短检测板螺栓连接。通过设置可调节长度的检测基板，可以将基板的长度控制到与光伏板的长度相适配，一方面扩展了基板对于光伏板不同规格的适应性，另一方面也方便操作人员对光伏板的安装和检测，可有效避免因电线长度不够或光伏板过长导致的操作不便，提升了对光伏板检测的便捷性。
📄 2023203973106
📂 H01L21_66
👤 苏州欧索机械设备有限公司
📅 2023-03-06
本发明公开了一种硬质磨料与衬底在纳米尺度下的界面化学反应的实现装置及其实现方法，包括液气模块、控温模块和主轴模块，液气模块用于在液气箱内存在不同的液气介质，控温模块包括加热装置和降温装置，主轴模块包括带有压力控制的标准纳米划痕装置、光学镜头、转换盘和运动装置，光学镜头用于寻找衬底上的划擦位置，标准纳米划痕装置用于在衬底上施加不同的载荷并划擦，转换盘用于将光学镜头与纳米划痕压头进行切换，控温模块用于控制不同的温度，实现在不同的温度、液气介质和/或载荷条件下纳米划痕压头在衬底表面低速划擦，有助于观察在不同介质作用下硬质磨料与衬底之间纳米尺度的界面化学反应，在半导体超精密加工领域具有良好的应用前景。
📄 2022107845111
📂 H01L21_66
👤 华侨大学
📅 2022-07-05
本实用新型公开了一种太阳能电池片检测用固定装置，包括检测台和设于检测台上的固定机构，还包括用于对太阳能电池片进行自动传输的输送机，所述输送机设于检测台上，所述固定机构包括对称设置的两组移动板和间距调节组件，所述检测台上设有滑轨，所述移动板滑动设于滑轨上，所述间距调节组件设于检测台上，用于对两组移动板之间距离进行调节，每组所述移动板上均对称设有两组用于对太阳能电池片进行固定的固定组件。本实用新型涉及固定装置技术领域，具体是提供了一种便于自动对太阳能电池片进行传送，能满足对不同尺寸太阳能电池片的固定需求的太阳能电池片检测用固定装置。
📄 2024209598664
📂 H01L21_66
👤 江苏晶兆新能源科技有限公司
📅 2024-05-07
本实用新型公开了一种进行多个半导体器件同步检测的机构，其包括：工作台、针脚导向板、移动载具、控制器、插头和检测仪，所述移动载具可相对针脚导向板前后移动地设置在工作台上，所述移动载具上横向间隔设置有多个定位槽，所述定位槽底部内凹设置有安装槽，所述安装槽中设置有指向上方的位移传感器，所述半导体器件设置在定位槽上，所述半导体器件上设置有延伸至移动载具前方并指向针脚导向板的针脚，所述针脚导向板上设置有与针脚一一对应的导向孔，所述插头设置在针脚导向板的前方并与定位槽一一对应。本实用新型所述的进行多个半导体器件同步检测的机构，可以进行多个半导体器件的定位、移动和针脚的导向，提升了检测效率。
📄 2023206109962
📂 H01L21_66
👤 张家港意发功率半导体有限公司
📅 2023-03-27
已申报项目
本发明属于晶圆领域，尤其是一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，针对目前市场上的硅晶圆光阻溶解过程观测装置使用不够方便，不便于进行溶解操作，现提出如下方案：一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，包括底座与溶解桶，所述底座的下端外表面固定安装有支架，所述支架的下端活动安装有滚轮，所述底座的上端固定安装有固定座，所述溶解桶放置在固定座的上端，所述底座的上端位于固定座的一侧的位置固定安装有安装座，所述安装座的上端活动连接有立柱。本发明中，通过滚轮上的减震结构是装置移动更加稳定，通过可转动的立柱能够方便观测装置的使用，并且通过可升降的夹具能够方便对晶圆进行光阻溶解操作。
📄 2020105515705
📂 H01L21_66
👤 山东新思航信息科技服务有限公司
📅 2020-06-17
本发明公开了一种晶元芯片生产用自动检测装置，涉及光伏发电板支撑技术领域。该光伏发电板支撑装置，包括外护套筒、内支撑柱，所述内支撑柱的顶部固定连接有弧形固定柱，弧形固定柱的顶部固定连接有固定台，固定台的侧面固定连接有弧形固定块，内支撑柱的侧面固定连接有弹簧一，弹簧一的一端固定连接有支撑脚一，支撑脚一与内支撑柱转动连接，支撑脚一的侧面固定连接有弧形推块一，弧形推块一通过传动件与圆形推块活动连接，圆形推块与自动找平组件活动连接。该光伏发电板支撑装置，使用时通过支撑脚一转动，配合支撑脚二、传动件、圆形推块、自动找平组件和翻盖组件，使装置的安装更加稳固，使装置工作和安装效率提升。
📄 2025108177402
📂 H01L21_66
👤 广州市宏承电子有限公司
📅 2025-06-18
本实用新型涉及半导体封装检测技术领域，且公开了一种半导体封装检测设备，包括主体机构、检测机构和辅助机构，所述检测机构位于主体机构的上方，所述辅助机构位于检测机构的下方，所述主体机构包括底座、限位槽和伺服电机一，所述限位槽固定设置在底座上端的中部，所述伺服电机一固定安装在底座的前端，所述伺服电机一的传动端延伸至底座的内部，所述主体机构还包括转轴、齿轮、导向轮、传送带和输送履带，所述转轴固定安装在伺服电机一的传动端。该半导体封装检测设备，解决了检测设备在检测半导体封装过程中需要人工手动拿取半导体封装的问题，提高了检测设备检测半导体封装的速率，增加了检测设备的实用性。
📄 2023224848271
📂 H01L21_66
👤 上海宬容电子科技有限公司
📅 2023-09-13
本发明公开了一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法，包括支架和可转动的传送带，传送带上设置有石墨舟，石墨舟内设置有硅片；支架滑动连接有第二活动板，第二活动板两端分别连接有激光发射器和激光接收器，激光发射器和激光接收器设置在石墨舟两侧；支架转动连接有第一丝杆，第一丝杆连接有第一电机，第一电机与支架固定连接，第一丝杆配合设置有第一丝母，第一丝母与第二活动板固定连接。本发明可检测石墨舟舟片有无变形、上料有无少片、翘片、下料有无翘片、掉片等异常，发现异常后及时人工干预处理或将硅片夹取，避免不良的产生，提高产线良品率，降低生产成本。
📄 202211043323X
📂 H01L21_66
👤 王志远
📅 2022-08-29
本发明公开了一种基于图像检测的太阳能电池片扩散工艺中SE方法，本发明采用高速摄影机定时采集太阳能电池片结束扩散工艺后的图像，并将其输入至图像检测程序，图像检测程序采用Canny边缘检测算法、Hough变换等技术组合，判断直线区域和矩形区域的位置关系，图像检测程序对位移偏移量和位移偏移量阈值、角度偏移量和角度偏移量阈值进行判断，若存在至少一种偏移量超出偏移量阈值，程序则发出警告，收到报警之后，立即排查问题，缩短响应时间，减少过多电阻值高、导电性能不好的太阳能电池片流入后续工序中，提高最终太阳能电池片的良品率，本发明通过图像检测算法能够减少检测人力成本的投入，提高检测效率，提高响应时间。
📄 2024107424304
📂 H01L21_66
👤 江西钛创新能源科技有限公司
📅 2024-06-11
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