本实用新型公开了一种可提高平面靶材利用率的装置，包括固定管，所述固定管的内顶部与内底部上均开设有滑槽，两个所述滑槽内均滑动连接有滑块，两个所述滑块之间共同固定连接有移动块，所述固定管内设置有用于对移动块进行移动的移动机构，所述移动块的侧壁上开设有放置槽，所述放置槽内设置有两个用于对靶材进行夹持的夹持机构，所述移动块内还开设有两个对称设置的腔体。本实用新型结构合理，通过设置移动机构，实现对靶材的位置进行调节，避免靶材采用固定式，消耗范围无法控制，导致消耗量增加，利用率较低，通过设置驱动机构以及夹持机构，实现对靶材进行有效的夹持，便于靶材的更换，提高装置实用性。
📄 2021230748873
📂 C23C14_35
👤 上海博译金属有限公司
📅 2021-12-09
本实用新型公开了一种低导磁率的实用型镍靶材，包括靶芯与靶座，所述靶芯底部设有基座，所述基座两侧壁均设有两个对称设置的插孔，所述靶座两侧壁均设有开口，所述开口内垂直设置有升降螺纹杆，所述升降螺纹杆外壁螺纹连接有升降螺母，所述升降螺母上滑动贯穿有两根与插孔对应的插杆，所述插杆通过复位机构与升降螺母连接，所述开口内设有与升降螺母配合的限制机构。本实用新型通过设置升降螺纹杆、升降螺母、插杆与插孔，能利用拖拽块使插杆端部带动防脱块与插孔分离，随即解除了靶芯与靶座的固定，能随着靶芯被消耗将靶芯移出靶座，从而为使用过程提供实用性，同时利用插孔与插杆活动式卡接固定，使装置具备一定便利性。
📄 2021230748869
📂 C23C14_35
👤 上海博译金属有限公司
📅 2021-12-09
本发明公开了一种用于高压氢环境中的薄膜应变片，包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层；基底采用316L不锈钢材料制成，过渡缓冲层为CrMo膜，绝缘层为AlN‑Al2O3双层膜。本发明具有高压氢环境中，薄膜应变片可以牢固地固定于试样上，相互之间连接呈无机质化，因而消除了零点漂移和蠕变，实现了温度自补偿，从而提高了应变片的灵敏度和测量结果的准确性的特点。
📄 2020112383895
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2020-11-09
本发明公开了一种磁控溅射反应设备换样片装置，包括取样长杆，所述装置还包括圆筒、样片基座及设于取样长杆前部的长杆端部，所述长杆端部包括长杆端头、电磁铁、伸缩机构及微动开关，所述电磁铁、伸缩机构及微动开关设于圆筒内，所述电磁铁设于长杆端头的后方，所述电磁铁后方装设有伸缩机构，所述伸缩机构的尾端伸缩接触微动开关，所述样片基座包括设有凹陷口的尾端，所述长杆端头在尾端的凹陷口进出。本发明运用磁铁吸力实现取样，并使用弹簧和微动开关实现长杆自动脱出，在缩短搬运的时间，且要避免样片在搬运过程中受到损伤，以提高生产效率和成品率，并有利于提高整台设备的密封性，保证了工艺环境的洁净度。
📄 2019105317190
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2019-06-19
本发明公开了一种用于煤制气环境中的溅射薄膜敏感元件，包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层、设于功能层上表面上的防护层；基底采用316L不锈钢材料制成，过渡缓冲层为Ni膜，绝缘层为SiO2膜，功能层为FeNiAl合金膜，防护层为AlOx膜。本发明在煤制气环境中，溅射薄膜敏感元件可以牢固地固定于试样上，相互之间连接呈无机质化，因而消除了零点漂移和蠕变，实现了温度自补偿，从而提高了溅射薄膜敏感元件的灵敏度和测量结果的准确性的特点。
📄 2020112375850
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2020-11-09
本发明涉及薄膜材料技术领域，为解决传统DLC薄膜与基体材料的结合强度较差、降低应力提高结合强度又会导致耐磨性能下降的问题，提供了一种DLC/CNx/MeN/CNx纳米多层膜，包括基体(1)、依次沉积于基体表面的金属过渡层(2)和纳米多层膜，所述纳米多层膜由若干纳米复合单元(3)组成，所述纳米复合单元由下至上依次为DLC层(4)，第一梯度CNx层(5)，金属氮化物层(6)和第二梯度CNx层(7)。本发明的纳米多层膜有效改善了传统沉积方法膜基结合力不高的问题，同时降低了内应力，并且有优良的耐磨性；制备方法步骤简单，工艺条件易于控制，制备过程安全无污染，成本低，易于实现产业化。
📄 2019106618918
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2019-07-22
本发明公开了一种实时间接测量溅射靶材温度装置，包括贴合设置在靶材铜底座上的导热固定装置及设置在导热固定装置上的温度传感器装置，所述导热固定装置包括上导热固定铜块及下导热固定铜块，所述上导热固定铜块及下导热固定铜块通过固定螺丝设置在靶材铜底座内侧位置；所述温度传感器装置包括温度传感器探头、与温度传感器探头相连的防水耐高温线缆及与防水耐高温线缆相连的显示器。本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，应用本装置为样品进行磁控溅射镀膜，使镀膜过程更加安全，保障了实验人员的人身安全，保证了测量的薄膜与基体的结合力的稳定性与精确性，对薄膜的研究领域具有重要的意义。
📄 2019104734276
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2019-05-31
一种制备高通量薄膜的磁控溅射装置，包括基体、基片台、圆筒、带齿圆环和掩模组件，所述带齿圆环安装在圆筒的上端处，所述掩模组件安装在圆筒的下端处，所述基体位于圆筒内且与带齿圆环可转动连接，基片台安装在基体的底部上，所述基体上设有第一真空电机，第一真空电机的电机轴上设有第一齿轮，所述第一齿轮与带齿圆环的齿形结构啮合，第一真空电机用于驱动基体相对于掩模组件旋转。本发明提供了一种制备高通量薄膜的磁控溅射装置及其制备高通量薄膜的制备方法，该装置结构简单，适用于小型的磁控溅射镀膜机上，一次抽气完成实验并且不需要进行额外的靶材更换操作，就可以按照不同靶材制备出组分呈连续渐变式梯度分布的三元高通量薄膜。
📄 2019113137062
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2019-12-19
本发明公开了一种无级变速器用钢带组件中金属钢环及其制备方法，该金属钢环由带状且双面具有激光织构化图案的通用18Ni系列马氏体时效钢焊接成圆环状，再通过磁控溅射在圆环的内壁和外壁上沉积(CoCrFeNiAlXTaY)NZ高熵合金薄膜制成；本发明采用通用18Ni马氏体时效钢，而非专用马氏体时效钢，原材料容易获得；本发明制备的金属钢环疲劳强度提升大于30％，在同样销盘磨损实验条件下，磨损深度降低了约70％以上。
📄 2023116439681
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2023-12-04
本发明公开了一种提升磁控溅射镀膜沉积速率装置，包括真空腔室、设置真空腔室顶部的密封盖、穿设在密封盖上的升降台及固定设置在升降台上的助吸装置，所述助吸装置包括吸环、连管及半圆形密封盘，所述吸环上均匀分布吸气孔，所述连管与吸环相连通，所述半圆型密封盘设置在连管端部位置，所述吸环表面相对位置处设有支撑块，所述支撑块上设有紧固螺钉，并通过紧固螺钉与升降台相连。本发明的有益效果是：该装置设计结构合理，使用方便，应用本装置为样品进行磁控溅射镀膜，使镀膜效率得到提高，对薄膜的制造领域具有重要的意义。
📄 2019110555907
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2019-10-31
本发明公开了一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座，所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置，所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置，所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷，并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。本发明的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，纤维丝线在滑轮之间绕动，使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜，保证了纤维镀膜的全面性与均匀性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。
📄 2019112365663
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2019-12-05
本发明公开了一种以Cr/Cr‑Si为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，它包括以下步骤：1）不锈钢样品前处理：对不锈钢样品进行砂纸打磨，用丙酮进行超声处理，烘干备用；2）不锈钢表面沉积Cr/Cr‑Si薄膜：将步骤1）中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台中，将Cr、Si靶材安装到靶座上，在不锈钢基底表面沉积Cr膜及Cr‑Si薄膜，得到含Cr/Cr‑Si过渡层的不锈钢样品；3）在不锈钢表面沉积金刚石薄膜：将步骤2）中得到的含Cr/Cr‑Si过渡层的不锈钢样品进行超声种晶，利用热丝CVD进行沉积金刚石薄膜，实现在含Cr/Cr‑Si为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。本发明通过采用上述技术，使金刚石膜与不锈钢之间结合力高，在洛氏硬度计150 kg载荷作用下薄膜未发生脱落。
📄 2019109680592
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2019-10-12
柿子坊 · 知识产权运营
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