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本实用新型公开了一种半导体晶片用热处理夹具，涉及半导体晶片加工技术领域，包括横架，所述横架的右端固定连接有安装板，所述横架的底面固定安装有一组滑弹件，所述滑弹件的右侧设有夹板件，且夹板件的右端滑动设置于滑弹件的内部，所述横架的中部开设有一组滑槽一，所述横架的上方设有传动板。该夹具在夹装半导体晶片时，只需操作转动转杆和偏心板，就能够把多个半导体晶片分别卡在夹块和夹板件之间，操作简便，而且能够一次性夹装多个半导体晶片，另外通过滑弹件和夹块的配合设置，能够为夹板件提供向右的弹力，即使夹装不同厚度的半导体晶片，也都能提供合理的夹持力度，使该夹具能够同时夹载多个不同厚度的半导体晶片。