一种表面梯度薄膜的制备方法，包括表面梯度薄膜制备装置，所述制备方法还包括以下步骤：首先将真空腔室抽真空，源内的靶材通过坩埚加热或电子束加热气化，成为离散态的微观粒子，向四周扩散；在经过遮板位置时，部分微观粒子会被遮挡，通过调节遮板的大小、方向来控制经过的微观粒子的含量和扩散的主次方向；遮板可以保持一定姿态，使各个方向源的辐射强度不同，在某个方向形成线性梯度，也可以在制备过程中保持转动，使各个方向源的辐射强度均匀。本发明提供了一种通过但不仅限于气象沉积或溅射等制备工艺，使用二元到四元甚至更多元素种类的源材，在基质上制备出横向梯度线性变化，且厚度均匀的表面梯度薄膜的制备方法。
📄 2017114164640
📂 C23C14_30
👤 浙江工业大学
📅 2017-12-25
本发明涉及一种调控非对称透射的单层矩形孔金纳米薄膜及其制备方法，由多个相同的金纳米单元拼接而成，金纳米单元用于实现光的非对称透射，金纳米单元为长方体，金纳米单元上设有矩形孔，金纳米单元包括金薄膜及防止金薄膜脱落的钛薄膜，金薄膜设置在钛薄膜的上方。本发明可以通过调整角度和周期来更加有效调控该单层矩形孔金纳米薄膜的非对称透射效应，并且，本发明是利用单层的矩形孔金纳米薄膜实现了非对称透射，其透射信号分布在可见光、近红外等波段，更利于信号的探测；本发明的单层矩形孔金纳米薄膜在结构、制备方法上比现有的三层、两层金纳米薄膜更简单，实际应用范围更广。
📄 2017101386370
📂 C23C14_30
👤 陕西师范大学
📅 2017-03-09
本发明公开了一种微纳米马达及其制备方法，通过步骤A、准备衬底、B、制备单层二氧化硅小球、C、制备纳米棒、D、沉积金属膜层，制得的微纳米马达包括单层二氧化硅小球薄膜，长度约为3.5μm、直径约为500nm的二氧化钛或镍纳米棒，厚度约为150nm的铂膜层，主要起到催化与自主装的作用，能够应用于加速催化反应、体内药物运输与治疗及能源产生与储存。
📄 2016111733217
📂 C23C14_30
👤 江苏师范大学
📅 2016-12-18
一种空间折叠银纳米棒的表面增强拉曼散射基底及其制备方法，包括：利用模拟软件模拟出具有最强和最广泛电场分布的空间折叠银纳米棒的空间结构和每折棒长；依照模拟出的空间结构和每折棒长，通过掠射角沉积技术制备出相应的空间折叠银纳米棒阵列；利用表面增强拉曼光谱仪在空间折叠银纳米棒基底上进行实际样品检测。本发明的制备方法，工艺简单、灵敏度高、增强效果显著、可重复性强、可大规模生产；本发明的空间折叠银纳米棒的表面增强拉曼散射基底能够有效发挥三次空间折叠银纳米棒高检测性的特性，从而实现高灵敏度，可以广泛应用于表面增强拉曼光谱检测。
📄 2020100354529
📂 C23C14_30
👤 江苏师范大学
📅 2020-01-14
本发明涉及一种金属板材的表面镀膜方法，属于金属表面处理技术领域。金属板材的表面镀膜方法包括：a.间歇式等离子刻蚀：在真空度1～10-2Pa，用流量50～4000sccm的Ar直接对金属板材进行间歇式等离子刻蚀，至金属板材的温度达到200～1200℃停止间歇式等离子刻蚀；b.镀膜：a步骤停止间歇式等离子刻蚀后，立即在金属板材上镀膜；所述间歇式等离子刻蚀的每次溅射刻蚀时间为1～60s，停机冷却时间10～3600秒。本发明可连续化生产，生产效率高。防止金属板材被烧蚀。低成本、无污染、速度快、膜层附着力高和效率高。
📄 2020104737968
📂 C23C14_30
👤 攀枝花学院
📅 2020-05-29
本发明提供了一种钨铜合金的制备方法，将电子束熔炼炉抽真空，利用电子枪组件向铜原料发射电子束，使铜液化并蒸发，形成铜蒸气；利用电子枪组件向钨原料发射电子束，使钨液化并蒸发，形成钨蒸气；钨蒸气与铜蒸气混合，得到铜钨混合蒸气，经过快速冷却降温后，铜钨混合蒸气凝固成为铜钨合金。还提供了一种钨铜合金的制备设备，包括电子束熔炼炉，所述电子束熔炼炉的顶部设置有电子枪组件，底部设置有原料放置机构，侧壁设置有进料机构，所述进料机构的出料端与原料放置机构相连。电子束熔炼本身具有提纯、精炼的作用，因此本发明的铜原料和钨原料可以是低成本的回收料，成本比只使用粉末冶金降低15％以上。
📄 2021108855351
📂 C23C14_30
👤 攀枝花学院
📅 2021-08-03
本实用新型公开了一种稳定高效的电子束真空镀膜设备，包括镀膜室和卷绕室两部分，镀膜室内设有镀膜系统，卷绕室内设有卷绕系统和线膜厚检测仪，卷绕室与镀膜室分别单独连接有不同真空抽速的抽真空系统，且两者间采用隔板隔开并独立抽真空，两个抽真空系统的抽速分别由镀膜原料的材料以及通入的反应气体决定。本实用新型能够有效克服由于镀膜室的局部压强差过大引起材料蒸发不均匀导致成膜质量下降等问题，具有蒸发稳定、成膜质量高的特点，还能有效地改善由于卷绕室与镀膜室的压强差过大导致材料的有效利用率降低的问题，有效提高镀膜材料的利用率，并且能有效地解决镀膜室真空度变化过大引起的电子枪产生打火的现象，有效提高电子枪的稳定性。
📄 2022204316145
📂 C23C14_30
👤 浙江弘康半导体技术股份有限公司
📅 2022-03-01
本实用新型公开了一种紧凑型半导体蒸发台，其包括：蒸发台壳体、坩埚、链板、链板收放卷架和钢丝绳收放卷架，所述坩埚设置在蒸发台壳体中，所述链板收放卷架和钢丝绳收放卷架设置在坩埚的两侧，所述链板收放卷架上设置有链板收放卷滚筒，所述链板缠绕设置在链板收放卷滚筒上，所述钢丝绳收放卷架上设置有钢丝绳收放卷滚筒，所述链板前端两侧分别设置有缠绕设置在钢丝绳收放卷滚筒上的钢丝绳。本实用新型所述的紧凑型半导体蒸发台，通过钢丝绳对链板进行牵引，使得链板可以覆盖在坩埚的开口上，进行杂质的收集，操作简便，而且链板收卷后的体积小，结构紧凑。
📄 2022215542099
📂 C23C14_30
👤 德兴市意发功率半导体有限公司
📅 2022-06-21
已申报项目
本实用新型公开了一种半导体高效蒸发台，其包括：蒸发台基体、第一固定板、第二固定板、立柱、挡板、挡板驱动装置和刮板，所述立柱设置在蒸发台基体中并对称分布在坩埚的前方或者后方，所述第一固定板分别设置在立柱上，所述第一固定板底部分别设置有沿蒸发台基体的宽度方向水平延伸的滑轨，所述挡板连接在两侧的滑块之间并位于坩埚开口上方，所述刮板设置在两侧的第二固定板之间，所述刮板顶部设置有与挡板底面接触的刀刃。本实用新型所述的半导体高效蒸发台，挡板在坩埚加热初期进行覆盖，接收杂质，并在后退的过程中通过刮板实现挡板底面杂质的清理，减少了人工维护的耗时问题，提升了生产效率。
📄 2022207724451
📂 C23C14_30
👤 德兴市意发功率半导体有限公司
📅 2022-04-06
已申报项目
本发明属于光(电)化学水分解光电极薄膜材料的制备剥离技术领域，具体涉及一种易于剥离的钙钛矿型钡钽氮氧化物薄膜制备方法，依次采用了双源电子束沉积法、高温氮化法、以及机械剥离法制备得到BaTaO2N纳米颗粒薄膜。制备过程中，通过调控双源电子束沉积过程中NbOx沉积的薄膜厚度以及最佳Ba/Ta原子比和沉积的薄膜厚度，实现从石英基底上的完整剥离，工艺重复性较高，无需采用氧化物前驱体粉末制备且最终制得的BaTaO2N薄膜具备了更多应用的可能性。
📄 2024102862302
📂 C23C14_30
👤 电子科技大学
📅 2024-03-13
本发明公开一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法，包括镀膜腔室、PVD靶材、样品台、待镀膜工件和电子束辅助沉积组件，所述待镀膜工件设置在所述样品台上，所述PVD靶材、所述样品台均设置于所述镀膜腔室内，所述PVD靶材和所述待镀膜工件对应设置，所述电子束辅助沉积组件提供的可控电子束设置在所述PVD靶材和所述待镀膜工件之间；本发明在镀膜工件表面附近添加一个辅助电子束源，用于控制镀膜样件表面的电子浓度和离子浓度，从而有效的抑制或控制不导电的碳基薄膜表面的电荷积累，获得微观结构与成分可控、性能显著提升的碳基超润滑固体薄膜。
📄 2020114201181
📂 C23C14_30
👤 安徽工业大学
📅 2020-12-04
柿子坊 · 知识产权运营
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