本发明公开了一种基于In2O3/Pd纳米粒子组装结构的氨气气敏材料、其制备方法及柔性传感器件，本发明的In2O3/Pd纳米粒子组装材料利用团簇束流沉积技术制备，利用双靶团簇溅射源，在带有绝缘衬底的柔性叉指电极表面先后沉积In2O3纳米粒子和Pd纳米粒子；即可得到不同质量比例的In2O3/Pd混合纳米粒子组装材料。即可利用该材料实现氨气浓度的定量测量。本发明与其他现有技术相比，本发明涉及的In2O3和Pd混合纳米粒子组装材料能提供高性能的氨气传感功能，且由于Pd纳米粒子对In2O3的化学修饰以及协同催化作用，混合纳米粒子组装材料相比于单一的In2O3具有更多的活性位点，可以在较低的温度下对氨气实现高灵敏度和快速响应的感知机能。
📄 2022113309802
📂 C23C14_08
👤 浙江工业大学
📅 2022-10-28
本发明公开了一种镁基空心纳米结构的制备方法，利用团簇束流沉积设备采用多靶磁控等离子体气体聚集法，以高纯氩气作为溅射和缓冲气，将高纯氧气随缓冲气一起通入，且溅射源至少包含一个是以镁为溅射靶材，一个以钯为溅射靶材。将镁、钯靶材电离、加速，形成的纳米颗粒束流高能沉积在衬底上，通过调整团簇束流沉积设备参数、控制氧气通入量，使得到的空心纳米颗粒直径约为50~500 nm，从而制得所述镁基空心纳米材料。本发明利用团簇束流沉积设备所制备出的镁基空心纳米结构，具有优良的结构特性，且产物纯度高，基本没有杂质存在，本发明的生产方式成本低、流程短、设备要求不高，易于放大实验且可实现工业化生产。
📄 2021109821672
📂 C23C14_08
👤 浙江工业大学
📅 2021-08-25
本发明公开了一种氧化铜/硒复合材料薄膜，将低熔点(为221℃)、强光敏性的Se引入CuO，从而得到晶性良好，光、电及光电性能优异的薄膜材料。本发明将Se引入CuO，并通过低温退火使Se熔化，利用熔化的Se对CuO的浸润来消除或减少CuO膜中的空洞和悬挂键等缺陷，从而提高薄膜的晶性、光、电及光电性能，克服了CuO结晶性差、熔点高且高温分解的缺点，在太阳能电池领域具有良好的应用前景。
📄 2019102445178
📂 C23C14_08
👤 陕西师范大学
📅 2019-03-28
本发明公开了一种自支撑柔性LaNiO3薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)制备Sr3Al2O6靶材；(2)制备LaNiO3靶材；(3)清洗并刻蚀SrTiO3基片；(4)将Sr3Al2O6靶材、LaNiO3靶材和处理后的SrTiO3基片一同放入脉冲激光沉积系统，接着依次在SrTiO3衬底上外延生长出Sr3Al2O6和LaNiO3单晶薄膜；(5)在薄膜表面悬涂一层PMMA并加热，接着溶解；(6)PMMA和LaNiO3薄膜漂浮在水面上后，用Si片将其打捞并烘干；(7)将样品去除PMMA，取出后烘干，制得产品。Sr3Al2O6作为牺牲层用来得到柔性导电的LaNiO3薄膜，其具有质量高，简单快捷的特点。
📄 2021113194772
📂 C23C14_08
👤 电子科技大学长三角研究院(湖州)
📅 2021-11-09
本实用新型公开了一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置，通过氧气瓶提供氧气，包括转接头、内管、外管，其中转接头的一侧连接有储气管，储气管分别通过轴承连接外管和内管，外管包绕于内管外，所述外管和内管的另一端通过轴承连接有轴一和轴二，并由轴一和轴二单独带动驱动，所述转接头与内管之间通过转动以控制氧气的流量大小。本方案通过气泵输出的恒定气压，经转接头进入储气管传而导至内管内，氧气通过内管放气孔进入外管，再通过外管的放气孔进入镀膜区域，同时内管与外管均可通过驱动转动，内管与外管放气孔的转动配合以及针阀来调节通入氧气的流量，并通过外管的旋转来调整氧气通入的位置与角度，以此来调节通入氧气分布的均匀性。
📄 2022204117230
📂 C23C14_08
👤 浙江弘康半导体技术股份有限公司
📅 2022-02-28
本发明公开了一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法。是一种在石英片上利用双层辉光等离子物理溅射沉积技术通过两步法实现石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备。具体是将石英片丙酮清洗，高压氮气烘干处理；高纯低熔点和高熔点金属靶作为氧化物的金属元素溅射源，用丙酮进行清洗，同时通入一定比例的氩气和氧气作为金属氧化物的合成气氛条件；将预处理好的基片和靶材样品放入双层辉光等离子溅射腔室内，采用两步法工艺实现氧化物薄膜的制备。
📄 2017101767137
📂 C23C14_08
👤 南京信息工程大学
📅 2017-03-23
本发明公开了一种柔性透明太阳能水解光电极及其制备方法，该制备方法包含：(1)以氧化锌作为靶材，以白云母作为基板，采用磁控溅射法在基板上制备氧化锌缓冲层；(2)将镀有氧化锌缓冲层的基板在真空环境下热至400℃，并通入1：1的氩气和氧气的混合气体，以50W的功率预镀，然后以氧化铟锡为靶材采用磁控溅射法在基板上制备氧化铟锡层；(3)以钛酸锶为靶材，利用脉冲激光沉积法在基板上制备钛酸锶薄膜。本发明的方法制备的光电极在可见光范围内透光率为60～80％，而且柔性很好。
📄 2021100080275
📂 C23C14_08
👤 合肥净龙环保科技有限公司
📅 2021-01-05
一种alpha相氧化镓薄膜的制备方法，包括如下步骤：对m面蓝宝石衬底进行清洗，吹干后放入衬底托盘；将衬底载入真空室，待真空室的真空度达到3×10‑6 Pa后，通入高纯氩气，气体流量控制在40 sccm，调节真空室真空度为1Pa；对高纯Ga2O3陶瓷靶材进行预处理；采用磁控溅射法在衬底上沉积薄膜，衬底温度为25摄氏度，射频功率设置为40W，沉积时间为2小时；将制备好的薄膜放入管式炉中进行后退火处理，后退火温度为500‑800摄氏度，退火时间为2小时。本发明方法制备的alpha相氧化镓薄膜沉积面积大且粒径分布均匀。
📄 202011070429X
📂 C23C14_08
👤 南京信息工程大学
📅 2020-10-09
一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法，将Co3O4薄膜放入磁控溅射仪的样品台，TiO2靶材放入射频靶位，向镀膜室通入Ar气，设置TiO2射频靶位的电源功率为100W～400W，溅射时间为5min～60min，溅射同时对样品台加热，加热温度为500℃～700℃，溅射完成后，得到二氧化钛/四氧化三钴复合薄膜。本发明制备出的薄膜在可见光激发条件下对环境湿度非常灵敏，并且工艺可控性强、薄膜的组成、结构、性能易于调控，光激发下湿敏性突出。
📄 2018100920755
📂 C23C14_08
👤 陕西深蓝机电工程有限公司
📅 2018-01-30
本发明涉及非制冷红外探测技术领域，公开了一种热敏薄膜及其制备方法和应用，该热敏薄膜由ZnOx材料制成，其中x的取值范围是0.7~0.95；厚度为50 nm~300 nm，方阻在25℃时为5 KΩ/□~500 KΩ/□，电阻温度系数为‑1.5%/K~‑3.5%/K。该热敏薄膜具有长期稳定的电性能，电阻与电阻温度系数与氧化钒比拟，该材料的发明为研究非制冷红外器件用热敏材料开辟了一条新的路径。
📄 2019102173563
📂 C23C14_08
👤 淮阴工学院
📅 2019-03-21
本发明涉及一种钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法，借助双阴极辉光等离子放电作用在不锈钢箔基体表面溅射沉积钛氧化合物薄膜，将基体用丙酮进行超声清洗；之后将预处理好的基体放入等离子体炉内的试样台上完成样品表面钛氧化合物薄膜的制备。本发明以高纯金属元素为靶材，为了提高元素反应的供应量和供应效率，在基片和靶材周围形成双层辉光等离子放电，成膜仅需要10‑30min。本发明得到的薄膜与基体之间发生了互渗，因此基体与薄膜之间的结合强度高。本发明得到的薄膜表面质量高，且制备方法成本低，无污染，工艺流程较为简单，对基体本身的性能几乎无影响，不损伤基体。
📄 2018114457260
📂 C23C14_08
👤 南京信息工程大学
📅 2018-11-29
本发明提供了一种垂直磁各向异性磁记录薄膜的制备方法，包括如下步骤：准备玻璃基片；在玻璃基片表面镀敷MnO层；在MnO层上镀敷第一MnGa层；在第一MnGa层上镀敷第一Pt层；在第一Pt层上镀敷第一FePt层；在第一FePt层上镀敷第二MnGa层；在第二MnGa层上镀敷FeCo层；在FeCo层上镀敷第二FePt层；以及在第二FePt层上镀敷Cr层。本发明的磁记录薄膜对于制备工艺要求不严格。同时，本发明的磁记录薄膜的矫顽力适当的大，使得本发明的材料能够切实抵抗外界干扰。此外，本发明的剩磁较大，矩形比较高，使得本发明的磁记录薄膜有望成为一种性能优良的磁记录材料。
📄 2018108885406
📂 C23C14_08
👤 泉州凯华新材料科技有限公司
📅 2018-08-07
柿子坊 · 知识产权运营
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