实用新型已授权

用于硅的刻蚀设备

📄 申请号：CN202420624994.3 📄 发布日：2026/06/09

著录项目信息

申请日

2024-03-29

公开号

CN220856517U

公开日

2024-04-26

申请人

丹东锐芯微电子有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67

技术画像

所属领域

半导体刻蚀设备半导体刻蚀设备等离子体刻蚀反应离子刻蚀

应用场景

集成电路制造, 半导体芯片制造, MEMS器件加工, 微电子器件制造

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摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了用于硅的刻蚀设备，包括轨道、刻蚀箱和清理箱，轨道上安装有若干个行走车，行走车的侧壁竖直固定安装有电动丝杠模组，电动丝杠模组的滑台竖直固定安装有一级负压管道，一级负压管道水平连通安装有若干个二级负压管道，二级负压管道通过转动接头连通安装有三级负压管道，三级负压管道的顶部连通安装有负压吸盘；一级负压管道的侧壁通过轴承座转动安装有转轴，一级负压管道的侧壁固定安装有减速电机，减速电机与转轴的一端联接，每个三级负压管道和转轴之间安装有传动结构；清理箱设置有清理装置。本实用新型能够提升晶圆运输的灵活性、提升晶圆夹持的数量和便利性、提升刻蚀效率和质量、提升清理效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

热压气体处理装置

当前第 / 件

一种减速机配件生产用转运装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：60 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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