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本公开涉及静态随机存取存储器及其制造方法。一种制造静态随机存取存储器的方法,其特征在于,包括:在基底上形成图案化的第一栅极部分,使得相邻的第一栅极部分之间具有第一间隔区域;在所述第一栅极部分之上以及所述第一间隔区域中沉积栅极材料;以及对所述栅极材料进行选择性刻蚀,从而形成第二栅极部分,其中所述栅极材料的一部分从所述第一间隔区域中去除,从而在所述第一栅极部分与所述第二栅极部分之间形成第二间隔区域,其中所述第一间隔区域的尺寸大于所述第二间隔区域的尺寸。
📄 2018100861494 📂 H01L21_8244 👤 德淮半导体有限公司 📅 2018-01-30
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静态随机存取存储器及其制造方法

2018100861494 · 德淮半导体有限公司
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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
预算:¥50-100万截止:2026-08-30发布方:××新能源科技响应:8人

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成功交易案例

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固态锂电池电解质专利包

转让方:中国科学院××研究所
受让方:××新能源科技有限公司
交易类型:独占许可
交易金额:¥320万
🧬

CRISPR基因编辑技术

转让方:××大学
受让方:××生物医药有限公司
交易类型:转让
交易金额:¥1,200万

SiC功率器件工艺专利

转让方:××半导体有限公司
受让方:××汽车电子集团
交易类型:转让
交易金额:¥680万
☀️

钙钛矿光伏组件技术

转让方:××科技公司
受让方:××能源集团
交易类型:开放许可
交易金额:¥50万/年