发明专利已授权

基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法

📄 申请号：CN202111002208.3 📄 发布日：2026/08/18

著录项目信息

申请日

2021-08-30

公开号

CN114114830A

公开日

2022-03-01

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G03F7_00

IPC 分类号

G03F7_00

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

高分辨率显示, 消费电子, 虚拟现实显示, 增强现实显示, 显示器制造

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摘要

本发明公开了基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，所述方法包括步骤：在平整光滑的玻璃表面旋涂光刻胶，采用电子束曝光法制作周期有序的圆环结构；对圆环结构进行反应离子刻蚀，得到环形腔结构,并在环形腔结构内加入NOA之后揭下，得到周期圆柱；在周期圆柱上涂压印胶，待纳米压印胶固化后撕下得到压印胶上的周期环形腔结构；对周期环形腔结构进行加热，加热后会改变环形腔结构上边缘的弧度以及圆柱的弧度，通过加热不同的时间使边缘产生不同的形变，再在周期环形腔结构镀铝膜；激发周期环形腔结构表面等离激元，从而在不同程度形变处显示出不同颜色。本发明基于金属环形腔结构的高分辨率显示器提高了像素分辨率，解决了颜色染料的污染问题，染色像素的大小问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250610

✅ 授权

20220318

?? 实质审查的生效：

20220301

📄 公开

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