发明专利已授权

一种动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床

📄 申请号：CN201410695949.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2014-11-26

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_50

IPC 分类号

H01L21_50 , B21D28_02 , B81C1_00 ,

技术画像

所属领域

精密加工机床精密超精密加工微结构阵列加工自适应控制精密加工机床

应用场景

精密制造, 光学元件加工, 模具加工, 微纳制造, 智能制造

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摘要

一种动态特性自适应匹配的微结构阵列精密加工机床，包括Y向运动机构、X向运动机构和Z向精密冲压机构，所述X向运动机构通过X向支架固定于底座上，所述Z向精密冲压机构通过X&Z联动平台和X&Z复合导轨滑块安装于所述X向运动机构的X向导轨，并在所述X向运动机构的X向驱动带动下实现X向运动；工件放置在所述Y向运动机构的Y向运动平台上，并通过所述Y向运动机构实现Y向运动。Z向精密冲压机构能够根据不同冲压频率对动态特性精细调整，获得一致的动态响应性能，并可以实现位力切换复合控制，实现微结构阵列的一致性加工。本发明提出一种缩短对位时间，减少运动偏差，提高加工效率和加工精度的精密微冲压机床。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种多轴刚柔耦合运动平台

当前第 / 件

一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台

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