发明专利已授权

一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台

📄 申请号：CN201910515171.0 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-06-14

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23Q1_25

IPC 分类号

B23Q1_25 , B25H1_00 ,

技术画像

所属领域

刚柔耦合机构刚柔耦合机构精密运动平台柔性驱动系统

应用场景

精密定位, 微纳制造, 半导体设备, 光学调整, 工业自动化

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摘要

本发明涉及一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台，该刚柔耦合运动平台包括：核心运动平台、刚性支撑平台、柔性铰链组和测量系统；所述核心运动平台和所述刚性支撑平台通过所述柔性铰链组连接；所述测量系统用于测量所述核心运动平台和所述刚性支撑平台之间的相对位移。由核心运动平台和刚性支撑平台上分别安装检测元件得到两者的位移关系，计算得到核心运动平台和刚性支撑平台位移差补入电机，从而提高平台响应速度和平台的定位精度，实现高速精密定位。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20211019

✅ 授权

20191029

?? 实质审查的生效：

20190927

📄 公开

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当前第 / 件

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