一种浸润性梯度表面的加工方法,包括如下步骤:(1)设计和绘制版图:绘制示意图,版图结构布局具有斐波那契螺旋阵列结构;设计版图参数,硅片区域内版图中微圆柱圆心与圆域圆心距离变化;绘制版图,实现圆域内从中心向外由疏到密的结构;(2)版图加工,完成微结构设计之后,先用intellisense进行刻蚀的三维仿真,再使用光刻机加工出硅片,加工多片微圆柱高度不同的硅片进行对比;(3)对加工完成图浸润性梯度微结构进行实验测试:对硅片进行加热到莱顿弗罗斯特点的温度,通过注射器向微结构表面滴入液滴,通过观察液滴具体的运动状态和液‑气相变过程,对微结构进行优化设计并总结归纳实验现象。本发明提供了对莱顿弗罗斯特现象的一种全新应用设计。
📄 2021108565819
📂 B81C1_00
👤 浙江工业大学
📅 2021-07-28
本发明提供了一种阵列纳米沟道的制备方法与蚕丝蛋白薄膜,所述阵列纳米沟道的制备方法包括以下步骤:步骤S1,提取蚕丝蛋白,通过将蚕丝溶解或悬浮在水中,进而提取一种或多种蚕丝蛋白溶液;步骤S2,基于步骤S1得到的蚕丝蛋白溶液制备蚕丝蛋白薄膜,将一种所述溶液形成薄膜;步骤S3,基于步骤S2得到的制备蚕丝蛋白薄膜层;其中将蚕丝蛋白薄膜蒸发水,由此形成蚕丝蛋白薄膜层;步骤S4,制备多层阵列纳米沟道。本发明用蚕丝蛋白作为沟道的构建材料,它具有很好的生物兼容性,可以进一步对沟道内表面的蛋白分子做特定的生物修饰,并用于相关的生物分子检测,比如药物的手性识别和对映体分离。
📄 2022102577747
📂 B81C1_00
👤 中国科学院重庆绿色智能技术研究院; 西南大学
📅 2022-03-13
本发明涉及用于微观模拟油纸绝缘气泡效应的微流控芯片制备方法,属于电气技术领域。本发明基于微流控技术,提出了用于微观模拟油纸绝缘气泡效应的微流控芯片制备方法,通过在玻璃基底上光刻宽度和深度为20‑100微米级的矩形微流道,用以模拟常规绝缘纸板中的微毛细管。该芯片的微流道内部可注入绝缘油,并控制绝缘油的微水含量、溶解气体含量、温度及压力,用于微观模拟气泡在绝缘纸微毛细管中的产生及发展,并可测量气泡起始温度。本发明用于解决绝缘油在绝缘纸中孔隙中的相变过程无法进行微观实验模拟及观测的问题。
📄 2022117222028
📂 B81C1_00
👤 西南大学
📅 2022-12-30
本发明公开了一种二自由度scott‑russell柔性微纳定位平台,本发明采用固有频率较高的压电陶瓷作为驱动元件,同时为了在实现较大的输出位移时保持良好的解耦性能,采用放大比大、解耦性好的桥式放大机构作为一级位移放大机构。本发明引入scott‑russell机构作为二级位移放大机构,采用scott‑russell机构作为位移放大机构,具有运动解耦性能优越、导向性能好的特点;本发明引入十字形解耦结构均布于中心运动平台四周,该十字形解耦结构在目标运动方向上刚度较小,在非目标运动方向上刚度较大,这样既有利于输出位移,实现较大的位移输出,又具有良好的解耦性能,确保较高的定位精度。
📄 2019102431758
📂 B81C1_00
👤 杭州电子科技大学
📅 2019-03-28
本发明公开了一种高硬度表面多尺度功能微结构制备方法与装置。研制高效、便捷的多尺度功能微结构制备方法与装置十分必要。本发明方法:制成单点金刚石刀具和多刃金刚石刀具;然后,在待加工工件的待加工表面压印出中心倒圆台凹坑微结构阵列或V形沟槽微结构阵列;最后,在中心倒圆台凹坑微结构阵列或V形沟槽微结构阵列上制备微米或亚微米级功能微结构。本发明装置包括四自由度定位机构、夹具、激振器、单点金刚石刀具和多刃金刚石刀具。本发明在高硬度表面加工了多尺度功能微结构,能提高高硬度表面的硬度、强度、耐磨性和精度,对高硬度加工行业的发展有着十分重要的意义。
📄 2020100996164
📂 B81C1_00
👤 杭州电子科技大学
📅 2020-02-18
本发明公开一种MEMS三维隧道结构,包括硅基底,二氧化硅氧化层和隧道结构层,所述二氧化硅氧化层在硅基底表面上,所述隧道结构层在二氧化硅氧化层上方,所述隧道结构层是由三块矩形二氧化硅薄膜组成。本发明还公开了一种MEMS三维隧道结构的制备方法。本发明的MEMS三维隧道结构制作简单,成本低廉,可用于制作微流体管道,其硅基底可使用普通的(100)硅片,便于优化器件性能。
📄 2017115001975
📂 B81C1_00
👤 中国计量大学
📅 2017-12-26
本发明公开了一种基于电场控制Ag2Ga纳米针阵列成形的制备方法,包括步骤:S1、通过光刻、蚀刻以在第一硅基板表面阵列形成针尖结构;S2、在针尖结构的尖端处镀一层镉薄膜和银薄膜,以形成探针阵列硅基底;S3、在第二硅基板表面涂覆一层镓膜,并进行加热以使镓膜成为液态,以形成镓膜衬底;S4、将镓膜衬底滑动连接于水平滑轨上;S5、将探针阵列硅基底滑动连接于垂直滑轨上;S6、对镓膜衬底与探针阵列硅基底接通直流电源,以形成电场;S7、通过控制电场强度,以及镓膜衬底、探针阵列硅基底于水平滑轨、垂直滑轨上的滑动方向、滑动速度,以在探针阵列硅基底与镓膜衬底之间形成相应形状的Ag2Ga纳米针。本发明实现了Ag2Ga纳米针阵列成形且形状可控。
📄 2021105640324
📂 B81C1_00
👤 杭州电子科技大学
📅 2021-05-24
本发明提供一种硅微/纳米柱的制备方法,属于硅微/纳米结构的制备技术领域。本方法包括如下步骤:(1)从磨抛好的块体硅样品中利用FIB电镜提取用于加工微/纳米柱的初始坯料;(2)利用FIB电镜加工圆台型粗坯;(3)借助FIB电镜,使用环形加工图案对圆台型粗坯进行粗加工,获得硅微/纳米柱粗坯;(4)保持环形加工图案内径不变,逐渐增加其外径进行精加工,确保直径符合需求;(5)利用FIB电镜削平硅微/纳米柱顶部,确保高度符合需求;(6)去除加工过程引入的非晶层。采用本发明的技术方案,可制备尺寸精度高、加工锥度小的硅微/纳米柱,所制备的硅微/纳米柱直径偏差不大于10%,锥度小于10°。所得硅微/纳米柱可用作原位电镜力学测试样品。
📄 2022106868756
📂 B81C1_00
👤 燕山大学
📅 2022-06-17
本发明公开了一种微流道芯片的填充装置,用于在所述微流道反应区填充功能材料,包括:第一传送组件,干粉喷粉组件,所述干粉喷粉组件包括喷粉头,所述喷粉头与所述微流道的反应区对应:光电探头所述光电探头、所述喷粉头分别通过外部控制系统连接,通过所述外部控制系统控制所述干粉喷粉组件定位填充。本发明利用印刷原理结合微流控芯片制造工艺进行微流控芯片印造。
📄 201910083139X
📂 B81C1_00
👤 深圳博华仕科技有限公司
📅 2019-01-18
本发明公开了一种微流控芯片的底板封装装置,所述一种微流控芯片的底板封装装置包括:第一传送组件,第二涂胶组件、第一压合组件所述第一压合组件包括相互对应的第一压合辊、第二压合筒,以将带有所述封装胶层的第一村科层、以及位于所述第一传送基材上方的电板带相互压合,形成微流控芯片带,本发明利用印刷原理结合微流控芯片制造工艺进行微流控芯片印造。
📄 2019100417205
📂 B81C1_00
👤 深圳博华仕科技有限公司
📅 2019-01-16
本发明提供了一种基于直写印刷柔性凹陷微结构表面的制备方法,涉及直写印刷技术领域,包括:在支撑材料上涂布聚合物,预固化后形成粘弹性基底;采用牺牲性墨水,在粘弹性基底上进行直写印刷,得到表面具有凹陷微结构的柔性材料。本发明以预固化的粘弹性材料为打印基底,以不与粘弹性基底混溶、具有剪切变稀特性以及符合直写印刷条件的溶液作为直写印刷墨水,配合直写印刷技术制备图案化微结构,提高印刷精度,保证微结构成品质量,得到具有可控微结构的图案化表面,具有简单便捷,速度快、效率高、成本低廉、绿色环保的特点,还可避免掩模和曝光刻蚀等过程中产生的污染,且通过调节喷嘴的内径和挤出压力即可控制挤出墨水的大小,操作简单且灵活,具有较强的可操控性。
📄 2022114075351
📂 B81C1_00
👤 齐鲁工业大学(山东省科学院)
📅 2022-11-10
本发明涉及一种周期有序的磁性纳米线阵列的快速沉积方法,该快速沉积方法是采用海尔贝克阵列磁体诱导在基片表面快速沉积磁性纳米线有序阵列。该制备方法包括将磁性纳米线分散在溶剂中,基片的面紧贴于海尔贝克阵列磁体磁性面,将一定量的磁性纳米线溶液与基片另一面相接触,在基片表面快速沉积并定向排列磁性纳米线阵列,回收溶剂,制备表面具有周期性磁性纳米线阵列的基片等步骤。本发明,利用海尔贝克阵列的强磁场吸引力使磁性纳米线与溶剂分离并定向排列,实现了磁性纳米阵列的快速组装,以及溶剂的回收利用,减少环境污染,促进光电子器件和信息工程的发展。
📄 2018111875857
📂 B81C1_00
👤 聊城大学
📅 2018-10-12