发明专利已授权

一种多轴刚柔耦合运动平台

📄 申请号：CN201910452440.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-05-28

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23Q1_25

IPC 分类号

B23Q1_25 , B25H1_00 ,

技术画像

所属领域

运动平台运动平台刚柔耦合机构精密定位技术

应用场景

精密定位, 半导体制造, 工业自动化, 光学对准, 微纳加工

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摘要

本发明涉及一种多轴刚柔耦合运动平台，所述多轴刚柔耦合运动平台包括：三个单轴刚柔耦合运动平台，每个所述单轴刚柔耦合运动平台都包括：直线导轨、基座、核心运动平台、承载刚度增强柔性铰链组、运动平台刚性框架、直线导轨滑块、直线驱动器；所述第一单轴刚柔耦合运动平台的基座的一端与所述第二刚柔耦合运动平台的核心运动平台连接，所述第一单轴刚柔耦合运动平台的基座的另一端与所述第三单轴刚柔耦合运动平台的核心运动平台连接。该多轴刚柔耦合运动平台工作面积大，承载能力强，可以根据具体要求灵活地构建所需轴数的各种大行程高精度多轴运动平台。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220225

✅ 授权

20191029

?? 实质审查的生效：

20190927

📄 公开

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