实用新型已授权

一种匀胶显影机的硅片转移装置

Name: 一种匀胶显影机的硅片转移装置
Brand: 如东汇盛通半导体科技有限公司
SKU: 2022230476375
Availability: InStock

📄 申请号：CN202223047637.5 📄 发布日：2026/11/10

著录项目信息

申请日

2022-11-16

公开号

CN218471918U

公开日

2023-02-10

申请人

如东汇盛通半导体科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_677

IPC 分类号

H01L21_677 , H01L21_687 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆传输自动化物料搬运

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 光刻工艺, 匀胶显影, 集成电路生产线

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摘要

本实用新型公开了一种匀胶显影机的硅片转移装置，包括机械手，所述机械手的执行端安装有硅片支托装置，其特征在于：所述硅片支托装置包括固定于所述执行端上的支托环，该支托环成开口状，所述支托环上设置有安装有至少三个支撑块，每个支撑块上设置有至少两个用于支撑硅片的支撑面，各支撑面的高度不同形成了台阶状，每个支撑块上设置有与每个支撑面一一对应的定位圆弧面，所述定位圆弧面与硅片边缘定位配合，同层的定位圆弧面处于同一个定位圆上，不同层的定位圆同心设置且直径不同；该装置能够对不同尺寸硅片进行支托，避免了由于不同尺寸硅片需要频繁更换支托环的繁琐，且能对硅片进行准确定位，提高精确度和效率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN218471918U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

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