本实用新型公开了气相沉积技术领域的一种去除CVD反应腔体内壁沉积膜的装置，包括底座，所述底座的顶部焊接有竖梁，所述竖梁的内壁转动连接有螺纹杆，所述底座内腔的顶部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴与螺纹杆的底部固定安装，本实用新型通过第二电机来驱动转管进行旋转，并且通过转管来带动刮板转动，使刮板对反应室的内壁进行刮洗，将附着在反应室内壁上的沉积膜刮除，同时在抽气机的作用下，掉落在反应室内部的沉积膜会被抽取到收集盒中进行收集，而且抽气机排出的气体能够辅助刮板再次对反应室的内壁进行冲刷，进一步提升清洗洁净度，从而解决了附着牢固沉积物无法清理的问题，非常值得推广。
📄 2022218895340
📂 C23C16_44
👤 广州市鸿浩光电半导体有限公司
📅 2022-07-20
本实用新型公开了晶圆加工技术领域的一种等离子体CVD晶圆用表面修磨装置，包括箱体，所述箱体内腔的底部固定安装有配件盒，本实用新型第一电机带动主动轮旋转，并且通过主动轮和从动轮的配合来使链条进行转动，从而使链条带动滑轴进行移动，在滑轴移动的时候，能够带动活动板移动，进而通过活动板带动平台做左右往复运动，并且在第三电机的作用下带动拨杆进行旋转，拨杆带动拨板前后摆动，从而通过拨板的作用带动齿轮正反转，齿轮带动盒体以及安装在盒体的晶圆载具做前后往复运动，并且晶圆载具在第二电机的作用下进行旋转，能够使晶圆与打磨垫的各个位置进行接触，避免对打磨垫造成浪费。
📄 2022218817801
📂 B24B37_10
👤 广州市鸿浩光电半导体有限公司
📅 2022-07-20
本实用新型公开了晶片加工技术领域的一种晶片支撑夹紧结构，包括底座，所述底座的上方设置有承载板，所述承载板的顶部固定安装有安装板，所述安装板的内腔滑动连接有齿板，所述齿板的顶部固定安装有连接块，所述连接块的顶部焊接有方形夹块，所述方形夹块的两端均铰接有圆形夹块，本实用新型通过圆形夹块和方形夹块的设置，能够对不同形状的晶片进行夹持，并且在该夹具中，圆形夹块和方形夹块的位置均可以在安装板上进行调整，因此能够对不同尺寸的晶片进行夹持，从而满足巨大部分晶片的夹持需求，而且该夹具中还设置有圆形杆，能够在夹持晶片的过程中，将其托起，避免在加工时，通过下压力的作用使晶片产生歪斜。
📄 2022217390122
📂 H01L21_687
👤 广州市鸿浩光电半导体有限公司
📅 2022-07-06
本实用新型提供一种化学气相沉积室清洗装置，涉及化学气相沉积室技术领域，包括外壳，所述外壳的顶部固定连通有加剂管，所述加剂管远离外壳的一侧固定连接有塞子。本实用新型，打开加剂管上的塞子，对加剂管中进行加装清洁剂，抓住握把并轻轻用力对压板向握把的方向进行挤压，清洗棉对清洁剂进行吸收，清洗剂从清洗棉中挤出与化学气相沉积室的内壁相接触，清洗棉与化学气相沉积室的内壁进行摩擦清洗，通过对外壳的内部进行加装清洗剂，利用清洗棉对化学气相沉积室的内壁进行清洗，避免工作人员直接徒手操作与清洁剂相接触，提高工作人员手部受到损坏的概率，提高对工作人员的生命安全保护措施。
📄 2022216914915
📂 B08B9_087
👤 广州市鸿浩光电半导体有限公司
📅 2022-07-01
本实用新型公开了化学气相沉淀技术领域的基于化学气相沉淀室的可更换夹环机构，包括沉淀室、承接环、覆盖环和移动板，覆盖环的底部设有第二环板，第二环板内侧设有多个卡槽，基座上对应设有多个转动槽，转动槽中设有卡接组件，且多个卡接组件与移动板连接，本实用新型通过将基板、承接环和覆盖环放置到对应位置，第一电磁铁和第二电磁铁通电相吸，使移动板带动卡接组件上移，并通过卡接组件中的卡爪与覆盖环上卡槽的底面接触，使覆盖环位置固定，进而使承接环和基板位置固定；通过使第一电磁铁和第二电磁铁断电，即可使卡接组件与卡槽脱离，从而能够取出承接环和覆盖环，使得承接环和覆盖环更换简单方便。
📄 2022209520868
📂 C23C16_458
👤 广州市鸿浩光电半导体有限公司
📅 2022-04-24
本实用新型属于砂轮调节领域，尤其是用于硅片减薄机的砂轮调节装置，针对现有的将硅片通过砂轮进行粗磨减薄，减薄完成后，再将减薄后的硅片放置在抛光机中进行细磨工序，使得硅片制作工序十分繁琐，增加了工作人员的工作量，同时也降低了工作效率的问题，现提出如下方案，其包括外箱，所述外箱的内顶部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端固定连接有第一连接板，所述第一连接板的下端通过转动组件转动连接有第二连接板，两组所述转动轴的一端分别固定连接有粗磨砂轮和细磨砂轮；本实用新型在使用时，可以对硅片放进行粗磨和细磨用于硅片减薄，使得硅片制作工序十分简单，降低了工作人员的工作量，同时也提高了工作效率。
📄 2022219802165
📂 B24B7_22
👤 深圳市方达研磨技术有限公司
📅 2022-07-29
已申报项目
本实用新型公开了一种光刻板自动翻转装置，包括支撑架，所述支撑架的上表面固定连接有两个固定板，固定板的一侧活动连接有转轴，转轴的一端固定连接有下固定壳，下固定壳的一侧活动连接有上固定壳，所述支撑架的上表面设有两个滑槽，滑槽的一侧活动连接有第一滑动板和第二滑动板，第一滑动板与第二滑动板的一侧均固定连接有支撑板，支撑板与下固定壳相接触，所述支撑架的两侧固定连接有多个滑杆，滑杆的一侧分别活动连接有第一压板和第二压板。本实用新型能够对加工中的光刻板起到支撑的作用，从而解决了不能够对加工中的光刻板作稳定的问题，提高了光刻板加工的产品精度。
📄 2021200875403
📂 G03F1_00
👤 青岛市精立制版有限公司
📅 2021-01-13
已申报项目
本发明公开了一种晶圆旋转喷淋清洗装置，涉及到清洗装置领域，包括清洗槽，清洗槽内设置有两组夹持组件，夹持组件均包括若干组夹持单元和驱动单元，两组夹持单元交替夹持晶圆片；驱动单元用于驱动夹持单元进行交替动作，夹持单元包括第一夹持片和第二夹持片，夹持组件还包括转换单元，当驱动单元推动第一夹持片移动时。通过设置两组夹持组件交替对晶圆片进行夹持，防止晶圆片的夹持位置始终被遮挡，能够对晶圆片的表面杂质进行清洗，能够在清洗中保持对晶圆片的夹持，使晶圆片更稳定，通过多组清洗单元对晶圆片进行夹持，能够同时清洗多个晶圆片，提高清洗效率，防止晶圆片在清洗中存在因夹持始终被遮挡的区域，对晶圆片的清洗效果更好。
📄 2023114054650
📂 H01L21_687
👤 深圳市星国华先进装备科技有限公司
📅 2023-10-27
已申报项目
本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆加工用多向故障报警设备，包括台体，所述台体的底部外壁固定连接有支撑筒，所述支撑筒的底端固定连接有底板，所述台体的顶部固定连接有等距离呈环形分布的存放仓，所述存放仓内部码放有等距离分布的晶圆本体，所述存放仓的顶部固定连接有把手，另一所述存放仓的顶部固定连接有报警器，所述支撑筒的底部内壁固定连接有液压杆，所述液压杆的输出端固定连接有连接柱，所述连接柱的一端设置有机械臂。本发明中实现对晶圆本体的无接触式固定，避免对晶圆本体的上下面造成损伤，同时也有利于后续检查灯本体在对晶圆本体检查时不会产生检查死角，避免出现误检误判的情况，提高本装置故障报警的准确率。
📄 202311163143X
📂 H01L21_67
👤 深圳市星国华先进装备科技有限公司
📅 2023-09-11
已申报项目
本发明涉及晶圆整平加工技术领域，具体是涉及一种多爪式限位式晶圆加工整平装置，包括安装台、多爪限位盘和打磨装置；多爪限位盘还包括安装盘、安装套筒、限位卡套、感应底座、限位抵触爪、限位收缩盘和同步驱动装置；安装盘安装在安装台；安装套筒设有数个并且以安装盘为轴心均匀分布，安装套筒与安装盘固定连接；限位卡套设有数个并且均匀分布在安装套筒上；感应底座固定安装在安装套筒底部；限位抵触爪设有数个并且均匀分布在安装套筒外侧；限位收缩盘设有数个并且均匀分布在安装套筒上；同步驱动装置固定安装在安装盘上，同步驱动装置的输出端与限位收缩盘传动连接。本申请可有效的提高打磨的稳定性，同时确保打磨质量。
📄 2023108264543
📂 B24B7_22
👤 深圳市星国华先进装备科技有限公司
📅 2023-07-07
已申报项目
本发明涉及芯片加工领域，具体是涉及一种能够消除气泡的晶圆加工用覆膜装置，包括覆膜底座、固定架、水囊和除气泡组件，覆膜底座包括工作台、拉伸组件、薄膜架和传送带，工作台包括固定底座、置物盘、第一弹簧、连接件和拉簧，固定底座的顶面中心处开设有圆形孔，固定底座的两个侧面上开设有长条滑槽，拉伸组件包括滑动块、第一夹持块、第二夹持块、定位条和连接杆，定位条上开设有配合连接件工作的定位槽，传送带的带面上均匀设置有若干个配合定位条工作的定位凸起。本发明通过工作台、拉伸组件、薄膜架和传送带实现了工作人员每次将晶圆放置在工作台上时薄膜拉伸组件便可以自动的带动薄膜移动从而使得薄膜覆盖到晶圆上的功能。
📄 2022108950558
📂 H01L21_67
👤 深圳市星国华先进装备科技有限公司
📅 2022-07-28
已申报项目
本实用新型公开了一种硅片加工装置，包括按硅片移动方向依次连接的脱胶系统、插片系统和清洗系统；脱胶系统与插片系统间设有硅片转运机构；硅片转运机构包括脱胶工装和三轴机械手；脱胶工装包括框架，设于框架内的夹紧件，夹紧件能沿框架上的第一预设路径滑动，设于框架内且位于夹紧件下方的承托件，承托件能沿框架上的第二预设路径滑动，设于框架端部用于控制夹紧件和承托件移动的开合机构，分别设置于框架和开合机构上的第一杆和第二杆，三轴机械手能通过第一杆转运闭合状态的脱胶工装，能通过第二杆开启并转运脱胶工装。该硅片加工装置能够将脱胶、插片、清洗多个工艺段连接形成自动化操作，减少工人的工作量，提高加工效率，降低加工成本。
📄 2025221619621
📂 H10P72_00
👤 苏州富泽环境技术有限公司
📅 2025-10-13
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