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发明专利
已授权
一种芯片的转移方法
📄 申请号:CN201710874383.9
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2017-09-25
申请人
广东佛智芯微电子有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L21_683
IPC 分类号
H01L21_683
技术画像
所属领域
半导体制造工艺
半导体制造工艺
芯片封装技术
巨量转移技术
应用场景
显示面板制造, Micro LED显示, 半导体封装, 光电子器件
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摘要
本发明提供了一种芯片的转移方法,包括以下步骤:在晶圆芯片的凸点背面沉积含有磁性材料的有机材料层;将导电杆接通正向电流,利用导电杆头部镀有的软磁材料与所述有机材料层相反的磁性,使导电杆与所述晶圆芯片吸附;将所述晶圆芯片倒装焊接后,将导电杆接通反向电流使导电杆与晶圆芯片脱离。本申请提供的芯片的转移方法可用于微型芯片的转移,解决了微型芯片由于尺寸小带来的转移困难的问题,提高了芯片的转移效率。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种高密度线路嵌入转移的扇出型封装结构与方法
当前第 / 件
Cu/SiO2复合材料、其制备方法与铜-陶瓷基板的制备方法
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