发明专利已授权

一种金属氧化物薄膜及其制备方法、薄膜晶体管

Name: 一种金属氧化物薄膜及其制备方法、薄膜晶体管
Brand: 西安工业大学
SKU: 2022108730401
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210873040.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2022-07-21

公开号

CN115241071B

公开日

2023-04-18

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_34

IPC 分类号

H01L21_34 , H01L29_24 , H01L29_786 ,

技术画像

所属领域

薄膜晶体管薄膜晶体管金属氧化物半导体薄膜制备工艺

应用场景

显示面板, 平板显示, 柔性电子, 传感器

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摘要

本发明关于一种金属氧化物薄膜及其制备方法、薄膜晶体管。其中，金属氧化物薄膜的制备方法包括：在设定相对湿度的制备环境中，使金属氧化物前驱液在基片上形成金属氧化物湿膜，并对金属氧化物湿膜进行预退火处理得到预固化金属氧化物薄膜；对预固化金属氧化物薄膜进行等离子处理得到等离子激活的金属氧化物薄膜；对等离子激活的金属氧化物薄膜进行后退火处理得到金属氧化物薄膜。本发明通过制备环境相对湿度与预退火处理温度的相互配合，实现对预固化金属氧化物薄膜毛细流动性和疏松程度的调控，从而在保证甚至进一步扩大等离子激活工艺可调谐范围以及等离子处理对预固化薄膜低温激活效果的基础上，提高金属氧化物薄膜的抗等离子刻蚀损伤能力。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN115241071B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：50 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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