发明专利已授权

一种金刚石微通道散热器及其制备方法

📄 申请号：CN202510198737.7 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2025-02-24

公开号

CN119673778B

公开日

2025-04-25

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_48

IPC 分类号

H01L21_48 , H01L23_367 , H01L23_373 , H01L23_473 , B24D18_00 , B24D3_10 , B24D3_34 ,

技术画像

所属领域

散热器金刚石材料微通道散热热管理技术散热器

应用场景

芯片散热, 功率器件散热, 激光器散热, 5G通信设备散热, 电子设备热管理

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摘要

本发明提供了一种金刚石微通道散热器及其制备方法，涉及高热流密度芯片散热技术领域。本方案以固结有活性磨粒的金属丝或者活性金属丝作为线锯切割工具，以多线切割机床为加工设备，通过使线网快速形成线弓的方法，让活性磨粒线锯或活性金属丝在压力条件下高线速、往复、干式划擦金刚石基体，金刚石表面在活性磨粒或活性金属丝的作用下发生相变生成非晶碳或石墨或碳化物，再通过活性磨粒或活性金属丝的机械作用将相变产物去除，进而露出新鲜的金刚石表面，如此循环上述过程，实现金刚石微通道散热器的高效、高质加工。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种两阶段生成对抗网络引导的宫颈癌病理图像分析方法

当前第 / 件

一种装载机分布式液压系统以及装载机

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_48)

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