实用新型已授权

一种防二次腐蚀的刻蚀装置

📄 申请号：CN202322520761.7 📄 发布日：2025/10/31

著录项目信息

申请日

2023-09-18

公开号

CN221149946U

公开日

2024-06-14

申请人

合肥颜恺薪追机械科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备刻蚀设备腐蚀防护技术

应用场景

集成电路制造, 芯片制造, 半导体加工, MEMS制造, 显示面板制造

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摘要

本实用新型公开了一种防二次腐蚀的刻蚀装置，涉及芯片加工技术领域，包括壳体，所述壳体顶端固定连接有两个气缸，所述气缸的伸缩端延伸至壳体内部固定连接有支架，所述支架底端四角处固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧顶端固定连接有掩模。该一种防二次腐蚀的刻蚀装置由于模孔开设在掩模的底端，在气缸带动掩模向上移动并离开刻蚀池时，残留于模孔中的刻蚀液受重力的作用将直接滴入下方的刻蚀池中，从而防止出现刻蚀液因没有模孔的阻拦而扩散至芯片表面造成其表面二次腐蚀的情况，保证了芯片表面的刻蚀效果，搭配振动电机可以提升刻蚀液滴落的速度，配合缓冲弹簧可以对振动电机产生的力进行缓冲，防止整个刻蚀装置随着振动电机振动。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240614

✅ 授权

一种模具生产用便于定位的抛光装置

当前第 / 件

一种具有双颗粒料挤出机的增材制造装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

¥2200.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：58 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

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