发明专利已授权

一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法

📄 申请号：CN201811294746.2 📄 发布日：2026/04/22

著录项目信息

申请日

2018-11-01

公开号

CN109490575B

公开日

2020-10-16

申请人

浙江宏振智能芯片有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01P15_125

IPC 分类号

G01P15_125 , B81C1_00 ,

技术画像

所属领域

加速度传感器 MEMS传感器电容式传感器加速度测量技术加速度传感器

应用场景

地震监测, 惯性导航, 工业振动监测, 结构健康监测, 科学仪器

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摘要

本发明提出一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法，所述低阻尼电容式加速度传感器，由变间距式和变面积式两种电容结构组成。所述变间距式电容采用具有差分特性的梳齿状电极板结构，通过静电驱动方式减小电容可动极板和固定极板的间距，克服了干法刻蚀工艺对高深宽比梳齿状电极结构制备的难题，有效提高了所制备加速度传感器的初始电容；并在变间距式电容的固定极板上刻蚀倒三角形凹槽结构，与已报道的矩形凹槽结构相比，大大降低了空气阻尼并且具有较好的保真度。将变间距式和变面积式电容结构组合能够有效提高传感器的灵敏度、降低空气阻尼。本发明中的传感器初始电容大，阻尼小，噪声低，灵敏度高，制作工艺简单，可以降低成本。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：114 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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