发明专利已授权

一种品圆加工用多向故障报警设备

Name: 一种品圆加工用多向故障报警设备
Brand: 深圳市星国华先进装备科技有限公司
SKU: 202311163143X
Price: 8000.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202311163143.X 📄 发布日：2026/09/23

著录项目信息

申请日

2023-09-11

公开号

CN116913825A

公开日

2023-10-20

申请人

深圳市星国华先进装备科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_683 , H01L21_687 , G08B21_18 , G08B29_18 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备故障报警系统工业自动控制系统

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 集成电路制造, 设备故障监测, 工业自动化

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摘要

本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆加工用多向故障报警设备，包括台体，所述台体的底部外壁固定连接有支撑筒，所述支撑筒的底端固定连接有底板，所述台体的顶部固定连接有等距离呈环形分布的存放仓，所述存放仓内部码放有等距离分布的晶圆本体，所述存放仓的顶部固定连接有把手，另一所述存放仓的顶部固定连接有报警器，所述支撑筒的底部内壁固定连接有液压杆，所述液压杆的输出端固定连接有连接柱，所述连接柱的一端设置有机械臂。本发明中实现对晶圆本体的无接触式固定，避免对晶圆本体的上下面造成损伤，同时也有利于后续检查灯本体在对晶圆本体检查时不会产生检查死角，避免出现误检误判的情况，提高本装置故障报警的准确率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN116913825A

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平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为 8000.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种多爪式限位式晶圆加工整平装置

当前第 / 件

一种晶圆旋转喷淋清洗装置

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¥8000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：4 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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