发明专利已授权

一种多爪式限位式晶圆加工整平装置

Name: 一种多爪式限位式晶圆加工整平装置
Brand: 深圳市星国华先进装备科技有限公司
SKU: 2023108264543
Price: 8000.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202310826454.3 📄 发布日：2026/09/23

著录项目信息

申请日

2023-07-07

公开号

CN116533085B

公开日

2023-09-19

申请人

深圳市星国华先进装备科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B7_22

IPC 分类号

B24B7_22 , B24B41_06 , B24B41_00 , B24B55_06 , B24B55_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆加工精密机械加工

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 晶圆研磨抛光, 晶圆减薄, 晶圆平坦化

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摘要

本发明涉及晶圆整平加工技术领域，具体是涉及一种多爪式限位式晶圆加工整平装置，包括安装台、多爪限位盘和打磨装置；多爪限位盘还包括安装盘、安装套筒、限位卡套、感应底座、限位抵触爪、限位收缩盘和同步驱动装置；安装盘安装在安装台；安装套筒设有数个并且以安装盘为轴心均匀分布，安装套筒与安装盘固定连接；限位卡套设有数个并且均匀分布在安装套筒上；感应底座固定安装在安装套筒底部；限位抵触爪设有数个并且均匀分布在安装套筒外侧；限位收缩盘设有数个并且均匀分布在安装套筒上；同步驱动装置固定安装在安装盘上，同步驱动装置的输出端与限位收缩盘传动连接。本申请可有效的提高打磨的稳定性，同时确保打磨质量。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN116533085B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为 8000.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种可调节的产钳

当前第 / 件

一种品圆加工用多向故障报警设备

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¥8000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：4 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 天津勤熠信息科技有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 27件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

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