发明专利已授权

一种晶圆旋转喷淋清洗装置

Name: 一种晶圆旋转喷淋清洗装置
Brand: 深圳市星国华先进装备科技有限公司
SKU: 2023114054650
Price: 8000.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202311405465.0 📄 发布日：2026/09/23

著录项目信息

申请日

2023-10-27

公开号

CN117153765B

公开日

2024-02-06

申请人

深圳市星国华先进装备科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_687

IPC 分类号

H01L21_687 , H01L21_67 , B08B3_02 , B08B3_04 , B08B3_08 , B08B13_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆清洗旋转喷淋清洗

应用场景

集成电路制造, 半导体制造, 晶圆加工, 芯片制造, 半导体清洗工艺

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摘要

本发明公开了一种晶圆旋转喷淋清洗装置，涉及到清洗装置领域，包括清洗槽，清洗槽内设置有两组夹持组件，夹持组件均包括若干组夹持单元和驱动单元，两组夹持单元交替夹持晶圆片；驱动单元用于驱动夹持单元进行交替动作，夹持单元包括第一夹持片和第二夹持片，夹持组件还包括转换单元，当驱动单元推动第一夹持片移动时。通过设置两组夹持组件交替对晶圆片进行夹持，防止晶圆片的夹持位置始终被遮挡，能够对晶圆片的表面杂质进行清洗，能够在清洗中保持对晶圆片的夹持，使晶圆片更稳定，通过多组清洗单元对晶圆片进行夹持，能够同时清洗多个晶圆片，提高清洗效率，防止晶圆片在清洗中存在因夹持始终被遮挡的区域，对晶圆片的清洗效果更好。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN117153765B

购买这项专利需要经过哪些流程？

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为 8000.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种品圆加工用多向故障报警设备

当前第 / 件

一种桥梁施工用支撑构件

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