发明专利已授权

一种薄型硅片连续转运装置

Name: 一种薄型硅片连续转运装置
Brand: 山西东明光伏科技有限公司
SKU: 2023108966156
Availability: InStock

📄 申请号：CN202310896615.6 📄 发布日：2026/09/20

著录项目信息

申请日

2023-07-20

公开号

CN116884898B

公开日

2026-09-18

申请人

山西东明光伏科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_677

IPC 分类号

H10P72_30 , H10P72_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆传输自动化物料搬运

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 光伏硅片生产, 自动化生产线, 智能制造

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摘要

本发明公开了一种薄型硅片连续转运装置，涉及硅片生产设备技术领域，包括转运平台，所述转运平台上表面设有底板，所述底板的上表面设有若干个侧板，所述底板和相邻两组所述侧板之间形成水流通道，水流通道的内部设有水流路径，水流穿过水流路径的始端，并沿着水流路径转运硅片，所述水流通道内且靠近水流路径的末端处设有转运架，所述转运架的内部设有承托板，当水流将硅片转运至承托板上时，通过设置在承托板上的透水孔，用于分离承托板上的水流和硅片。本发明具有降低硅片破损率的作用。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN116884898B

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

适用于非正入射角的结构色超表面高品质因数窄带滤光片

当前第 / 件

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