发明专利 已授权

适用于非正入射角的结构色超表面高品质因数窄带滤光片

📄 申请号:CN202310866288.X 📄 发布日:2026/09/20

著录项目信息

申请日
2023-07-14
公开号
CN116774336B
公开日
2026-05-15
申请人
杭州电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光学成像, 光谱检测, 结构色显示, 光学传感, 增强现实/虚拟现实

摘要

本发明公开了一种适用于非正入射角的结构色超表面高品质因数窄带滤光片,其包括依次层叠的基底层、中间层和纳米线阵列。所述基底层为Al2O3材料,中间层为Si3N4材料。所述纳米线阵列包括多个以矩阵形式排列在中间层表面的椭圆柱纳米线,相邻两个椭圆柱纳米线的中心点间的距离相等。所述椭圆柱纳米线呈直椭圆柱状,顶面开设有半椭球形状的凹槽,凹槽的开口轮廓与椭圆柱纳米线底面轮廓相同。通过调整椭圆柱纳米线的尺寸与距离,可以实现透射光波段的调谐。本发明在实现高反射率、高品质因数的同时可以保持较窄的半峰全宽,并且在0~60°入射角范围内保持共振峰位置基本不变。在非正入射角下表现稳定,不易变色。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (G02B5_20)

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