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发明专利
已授权
一种金刚石晶片的贴片装置
📄 申请号:CN202210856973.X
📄 发布日:2026/05/07
著录项目信息
申请日
2022-07-20
公开号
CN115101455B
公开日
2024-06-25
申请人
华侨大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L21_67
IPC 分类号
H01L21_67
,
H01L21_683
,
技术画像
所属领域
半导体制造设备
半导体制造设备
晶片贴片
精密机械加工
应用场景
半导体制造, 晶片封装, 金刚石基器件加工, 电子器件制造
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摘要
本发明公开了一种金刚石晶片的贴片装置,他包括装接底座以及均装接在该装接底座上的带控制器的控制模块、旋转底座、第一垂直驱动机构、第二垂直驱动机构、衬底吸取机构、点胶机构、装膜机构及切膜机构;该旋转底座能相对装接底座水平转动,并用于放置至少一金刚石晶片;该衬底吸取机构用于吸取装接衬底;该点胶机构用于给金刚石晶片点胶;该装膜机构用于薄膜的缠绕安装;该切膜机构用于薄膜的切断。他具有如下优点:设计巧妙、操作方便,自动化程度高,可以实现多片金刚石晶片在一块衬底的贴合作业。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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