发明专利已授权

一种单晶硅生产用硅片清洗装置

Name: 一种单晶硅生产用硅片清洗装置
Brand: 南通康成电子科技有限公司
SKU: 2022114727533
Availability: InStock

📄 申请号：CN202211472753.3 📄 发布日：2026/08/25

著录项目信息

申请日

2022-11-23

公开号

CN116895550B

公开日

2026-04-24

申请人

南通康成电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H10P72_00 , H10P72_10 , H10P72_76 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体芯片制造, 晶圆加工, 集成电路制造, 光伏电池制造, 硅片生产

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种单晶硅生产用硅片清洗装置，包括硅片花篮、夹持机构、移动组件和滑动杆，夹持机构设置在硅片花篮内，夹持机构包括第一夹持组件、第二夹持组件……第N夹持组件，相邻夹持组件之间用于夹持硅片；移动组件包括第一导向板和第二导向板，第一导向板和第二导向板均能够滑动地设置在硅片花篮内，第一导向板上设置有第一轨道，第二导向板上设置有第二轨道；滑动杆能够滑动地设置在硅片花篮内，滑动杆设置在第一导向板和第二导向板之间；滑动杆沿着第一轨道和第二轨道运动时用以清洗硅片。通过设置第一导向板、第二导向板和滑动杆，使得硅片被夹持部分间歇漏出，从而使得硅片被夹持部分能够被清洗。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN116895550B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于安全排查的重点车辆排查系统

当前第 / 件

一种铸造用自动落砂机

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_98 覆盖39个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：28 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)