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本实用新型涉及半导体载盘领域,且公开了一种可适用不同规格半导体元件的半导体载盘,包括载盘座,所述载盘座的顶部设置有载盘主体,所述载盘主体的顶部对称设置有L型夹板,所述载盘座的两端设置有调节机构,所述L型夹板的内部设置有限位机构,该可适用不同规格半导体元件的半导体载盘,将需要加工的晶圆的放在载盘主体上,然后利用旋钮带动双向丝杆,在调节槽内调节块的作用下,配合L型连接臂带动L型夹板向中间移动夹住晶圆,过程中夹持垫先与晶圆接触,并根据晶圆尺寸使多个夹块向分别活动槽内压缩弹簧,以此来对晶圆夹持固定,便于后续加工,解决了现有的载带盘难以根据元件尺寸稳定固定加工的问题。
📄 2024226687457 📂 H10P72_10 👤 义乌市续辰电子商务有限公司 📅 2024-11-04
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实用新型 已授权

一种可适用不同规格半导体元件的半导体载盘

2024226687457 · 义乌市续辰电子商务有限公司
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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
预算:¥50-100万截止:2026-08-30发布方:××新能源科技响应:8人

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成功交易案例

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固态锂电池电解质专利包

转让方:中国科学院××研究所
受让方:××新能源科技有限公司
交易类型:独占许可
交易金额:¥320万
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CRISPR基因编辑技术

转让方:××大学
受让方:××生物医药有限公司
交易类型:转让
交易金额:¥1,200万

SiC功率器件工艺专利

转让方:××半导体有限公司
受让方:××汽车电子集团
交易类型:转让
交易金额:¥680万
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钙钛矿光伏组件技术

转让方:××科技公司
受让方:××能源集团
交易类型:开放许可
交易金额:¥50万/年