实用新型已授权

一种晶圆检测用除尘装置

📄 申请号：CN201920881895.2 📄 发布日：2025/09/19

著录项目信息

申请日

2019-06-12

公开号

CN209843674U

公开日

2019-12-24

申请人

西安和德信信息科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_66 ,

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备晶圆检测除尘装置

应用场景

半导体制造, 晶圆检测, 洁净室环境维护

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摘要

本实用新型涉及晶圆检测装置，公开了一种晶圆检测用除尘装置，其技术方案要点是包括若干吹尘枪,探针台主体上表面连接有若干呈竖向设置的支撑杆，若干支撑杆围绕放置槽设置，若干支撑杆的顶端连接有同一个承托圆环，吹尘枪连接在承托圆环上，吹尘枪的喷嘴朝向放置槽内，吹尘枪的进气端套设有进气软管，进气软管远离吹尘枪的一端连通有高压存气罐，进气软管的管身上连接有第一通气阀。本实用新型具有能够对晶圆表面粘附的异物进行清理的优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250902

?? 专利权的转移：

20191224

✅ 授权

用于探针台的晶圆防滑出结构

当前第 / 件

工程造价使用的分析预算装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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