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| 专利/申请号： | CN201920881895.2 | 专利名称： | 一种晶圆检测用除尘装置 |
| 申请日： | 2019-06-12 | 申请/专利权人 | 无锡新微阳科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2019-12-24 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN209843674U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 37 | 所属领域： | 半导体制造设备 精密清洗技术 表面处理工艺专利转让搜索 |
应用场景：集成电路生产线上的晶圆预处理环节;光学检测前的颗粒物清除;半导体器件制造过程中的污染控制
摘 要：本实用新型涉及晶圆检测装置，公开了一种晶圆检测用除尘装置，其技术方案要点是包括若干吹尘枪,探针台主体上表面连接有若干呈竖向设置的支撑杆，若干支撑杆围绕放置槽设置，若干支撑杆的顶端连接有同一个承托圆环，吹尘枪连接在承托圆环上，吹尘枪的喷嘴朝向放置槽内，吹尘枪的进气端套设有进气软管，进气软管远离吹尘枪的一端连通有高压存气罐，进气软管的管身上连接有第一通气阀。本实用新型具有能够对晶圆表面粘附的异物进行清理的优点。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2025/09/02 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2025.08.15 专利权人由无锡新微阳科技有限公司变更为西安和德信信息科技有限公司 国家或地区由中国变更为中国 地址由214000 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号变更为710061 陕西省西安市曲江新区曲江环球中心10507 |
| 2019/12/24 | 授权 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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