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专利详情
实用新型
已授权
用于探针台的晶圆防滑出结构
📄 申请号:CN201920882104.8
📄 发布日:2025/09/19
著录项目信息
申请日
2019-06-12
公开号
CN210181085U
公开日
2020-03-24
申请人
王林林
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
G01R1_04
IPC 分类号
G01R1_04
技术画像
所属领域
探针台
半导体测试设备
晶圆载台
防滑结构
探针
探针台
应用场景
半导体晶圆测试, 芯片测试, 集成电路测试, 晶圆级测试, 半导体制造
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摘要
本实用新型属于晶圆测试设备的技术领域,公开了一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其技术方案要点是包括成对设置的第一支撑臂和第二支撑臂,所述第一支撑臂与片盒升降机构的上表面固接,所述第二支撑臂与晶圆匣的框体底面相抵,第二支撑臂一端与第一支撑臂铰接,另一端与第一支撑臂之间设有第三支撑臂,所述第三支撑臂位于晶圆匣的晶圆入口一端,具有能够有效防止晶圆从晶圆匣内滑出,避免晶圆磕碰在机架上的效果。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20250909
?? 专利权的转移 :
20200324
✅ 授权
一种建筑工程用钢筋外形测量装置
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