本发明公开了一种碳化硅炉及其焊接工艺，该碳化硅炉包括炉体、安装在炉体上的炉盘及盖在炉盘上的盖板，炉盘与盖板之间设有隔水条，隔水条、炉盘、盖板均为导电材料，隔水条与炉盘之间的接触面采用氩弧焊方式焊接固定，炉盘上设有安装槽，盖板容置在安装槽内并与隔水条相抵接，隔水条与盖板之间的接触面采用电阻焊方式熔合焊接固定。上述碳化硅炉通过隔水条与盖板之间采用电阻焊方式熔合连接，两者的接触面连接紧密，从而去除了传统技术在盖板上的开孔的问题，避免了传统技术焊接后由于焊缝缺陷而导致渗水的现象发生。
📄 2023105688214
📂 B23K11_36
👤 迪森(常州)能源装备有限公司
📅 2023-05-19
本实用新型提供了一种硅片载板校准平台，包括两间隔布置的支撑杆，两所述支撑杆之间设置有剪叉式折叠架，所述剪叉式折叠架固设有若干等距布置的平移板，由所述剪叉式折叠架的伸缩运动带动若干所述平移板以平移的方式相互张开或者相互靠拢；所述平移板的底部沿其长度方向可调节的固设有若干校准定位块，所述校准定位块的尺寸等同于载板的镀膜窗口尺寸。通过剪叉式折叠架可以调节校准定位块的间距，最终调节制成后两镀膜窗口的间距，使得镀膜窗口的间距可调节至合适距离，可防止硅片在镀膜窗口的间距过近或过远影响镀膜效果，保证镀膜窗口的尺寸精准。
📄 2024219832456
📂 H01L21_68
👤 厦门市俊亦精密机械有限公司
📅 2024-08-15
本实用新型涉及一种晶圆上下料夹爪，包括底板，所述底板顶部两侧固定连接有定位柱，所述定位柱外围套设连接有定位套，所述定位套顶部固定连接有托板，所述托板顶部中心处固定连接有旋转箱，所述旋转箱内部设有传动轴，所述传动轴顶部固定连接有C字型固定架，所述C字型固定架内部固定连接有驱动箱，所述驱动箱下方设有安装架，本实用新型通过设置第二电动伸缩杆可带动弧形夹持板进行移动，适用于不同大小的晶圆进行稳定夹持，便于上下料操作，通过设置抽气泵可将吸气盘内部抽至负压状态，通过设置吸嘴与晶圆上表面接触使夹持装置与晶圆之间的夹持稳定性有所提升，避免晶圆在上下料过程中发生脱落。
📄 2022232057253
📂 H01L21_687
👤 苏州八术激光技术有限公司
📅 2022-12-01
已申报项目
本实用新型涉及防震基座技术领域，具体为一种用于半导体及光电子无尘室的刚性基座，包括基座本体和安装平台，基座本体位于安装平台的上方，基座本体的底端和安装平台贴合，且基座本体的底部四角均开设有容纳腔，安装平台的顶端设有凸起，有益效果为：其中基座本体的内部设置有加强框，基座本体的外侧设置有保护罩，二者均可增强装置整体的抗压能力和牢固强度，而凸起、加强层以及抗压层等结构，以及其截面呈梯形状的设计，均可以起到很好的支撑效果，相比传统结构，本实用的支撑能力和稳定性以及抗压能力均具有显著优势，同时，基座本体和安装平台的两部分结构设计，也可以进行拆分，便于更换年久失修的部件。
📄 2019213084728
📂 F16M5_00
👤 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
📅 2019-08-13
已申报项目
本实用新型涉及基座技术领域，具体为一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座，包括钢构架、减震结构、承托板和底板，钢构架下端一体成形的设有若干支撑腿，支撑腿下端焊接有固定座，固定座通过固定螺栓固定连接在底板上端，底板通过固定螺栓固定连接在地面上，钢构架上端四角和中间设有减震结构，减震结构上端焊接承托板，承托板上端通过固定螺栓固定连接机台的底部，有益效果为：可以提高基座的抗震减震效果，而且增加了坚固性，降低腐蚀和磨损速度，增加使用寿命，还提供了安装板，可以使基座安装时更加平整，增加基座的稳定性，并进一步增加抗震减震效果。
📄 2019213084569
📂 F16M11_04
👤 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
📅 2019-08-13
已申报项目
本实用新型涉及载重基座技术领域，具体为一种集成电路无尘车间机台脚式横梁载重基座，包括横梁，横梁为网格框架形状，横梁的下端设置有若干均匀分布的支撑脚，支撑脚包括控制座、支撑装置和底板，控制座的上端和横梁连接，控制座的下端设置有方形板状的底板,控制座和底板之间设置有若干均匀分布的支撑装置，支撑装置包括卡位柱、承重块和控制装置，本实用新型构造设计实现支撑脚的高度快速调节，且操作简单，使用工具旋转转盘，即可实现相邻的两个支撑装置快速固定连接，同时若干支撑装置连接后具有强大的稳定性，确保整个基座的安全稳定性。
📄 201921299436X
📂 F16M11_24
👤 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
📅 2019-08-12
已申报项目
本发明涉及芯片测试技术领域，且公开了一种芯片吸附装置，包括吸附装置，所述吸附装置的内部下方滑动连接有吸口防尘装置，吸口防尘装置的正上方且安装在吸附装置上固定连接有第一压缩弹簧，吸附装置的上端固定连接有第一滚动轴承，第一滚动轴承的上方固定连接有底座，底座的下部内侧固定连接有棘轮外壳。通过吸口防尘装置上的矩形滑块在宽滑槽中运动，第一压缩弹簧推动吸口防尘装置归位，归位过程中对吸孔和吸环的内壁清理，且对孔和吸环进行封闭，棘轮外壳上设置的外部卡紧结构和与吸附装置底部外侧设置的单向转动装置配合，这一结达到了调节芯片角度和固定芯片的作用。
📄 2019106267786
📂 H01L21_683
👤 南京汉峰电子科技有限公司
📅 2019-07-11
本发明涉及一种半导体设备的温控方法、装置、设备及存储介质。该方法：对半导体设备的多个温控区域进行有限元网格划分及模态坐标变换，得到温控区域动态模型；采集温度传感器测量数据并进行时频域变换，生成温度预测数据序列；进行高斯混合建模得到先验分布，得到温度参数概率分布；对温度控制范围进行子域划分，得到温度域间特征映射矩阵；基于温控区域动态模型计算温区间热耦合系数矩阵，结合温度预测数据序列与温度域间特征映射矩阵构建温度控制目标函数，采用模型预测控制算法求解得到温度控制量序列。本发明提高了温度控制的精确性和动态响应速度，保证了温度控制的稳定性和能源利用效率。
📄 2025101751951
📂 G05D23_20
👤 深圳联钜自控科技有限公司
📅 2025-02-18
已申报项目
本实用新型提供一种具有防回流管的半导体阀门，包括半导体阀门本体、防回流管道、第一阻流柱、第一阻流孔、活动板、滑动块以及滑动槽，半导体阀门本体下端面连接有防回流管道，半导体阀门本体内部设置有第一密封垫，第一密封垫与半导体阀门本体之间固定有复位弹簧，第一密封垫右端面固定有第一阻流块，半导体阀门本体内部中间位置固定有第一阻流柱，第一阻流柱内部开设有第一阻流孔，防回流管道内部固定有第二阻流柱，第二阻流柱内部开设有滑动槽，滑动槽内设置有滑动块，滑动块之间焊接有活动板，活动板下端面固定有活动杆，活动杆下端面固定有第二密封垫，该设计能够在半导体阀门本体关闭后，阻止液体产生回流影响阀门的使用寿命。
📄 202221712517X
📂 F16K15_02
👤 江苏阀邦半导体材料科技有限公司
📅 2022-07-05
本实用新型适用于光刻胶去除技术领域，提供了一种边缘光刻胶去除装置，包括：旋转组件；所述旋转组件由减速电机和转动盘组成；所述减速电机的输出端和转动盘的顶部中央位置处固定连接；焊接于所述转动盘底部中央位置处的防滑罩；及通过螺栓固定于所述转动盘底部靠近防滑罩外侧位置处的光刻胶射频组件和吸料组件，所述光刻胶射频组件位于吸料组件的一侧；通过射频灰化晶圆边缘上的光刻胶，可以快速的去除光刻胶，效率高，并通过防滑罩对晶圆核心区域的防护和吸料组件将光刻胶灰化过程中产生的废料吸走排出，可以实现晶圆边缘光刻胶去除、防护和清理一体化，大大提高晶圆加工的效率。
📄 2024202656832
📂 G03F7_42
👤 丹东锐芯微电子有限公司
📅 2024-02-04
本发明公开了一种半导体基板搬运装置,包括进料支撑架,弯转输出架的输出端口固定连接有出料传输架,传输轴的中间位置固定连连接有进料传输轮,弯转转轴的中间位置固定连接有弯转传输轮,出料传输架的中间位置均匀转动连接有出料传输轮,弯转输出架的内侧固定连接有支撑连杆,支撑连杆远离弯转输出架的一端固定连接有精准弯转辅助机构,出料传输架的中间位置固定连接有风洁机构,本发明涉及半导体技术领域。该半导体基板搬运装置,达到了提高半导体基板的弯转传输精度,避免半导体基板传输过程中与设备之间的碰撞,保证半导体基板不受损坏,清除传输过程中基板的浮尘颗粒,保证基板表面洁净度,提高基板后续加工的精确度的目的。
📄 2018109404954
📂 H01L21_677
👤 上海蒂城科技有限公司
📅 2018-08-17
本实用新型提供一种半导体晶片顶起机构，包括底座、固定座、驱动电机、驱动偏心齿轮、第一从动偏心齿轮、第二从动偏心齿轮、移动座、真空顶针座以及顶针帽，底座上端面设置有固定座，固定座外侧面设置有驱动电机，固定座内侧面设置有驱动偏心齿轮，驱动偏心齿轮上方转动设置有第一从动偏心齿轮，驱动偏心齿轮下方转动设置有第二从动偏心齿轮，固定座后侧设置有移动座，移动座上端面设置有真空顶针座，真空顶针座上端面设置有顶针帽，该设计解决了原有半导体晶片顶起机构往复运动稳定性欠佳的问题，本实用新型结构合理，通过偏心齿轮转动带动移动座上下往复运动，运动效率高，移动更加稳定，实用性强。
📄 2025200512836
📂 H01L21_687
👤 蚌埠上源信息科技有限公司
📅 2025-01-09
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