晶圆键合中的退火装置及退火方法

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摘     要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆键合中的退火装置及退火方法。所述晶圆键合中的退火装置，包括加热盘；所述加热盘包括同轴设置的多个区域；多个区域相互独立加热且沿所述加热盘的中心向边缘分布，用以实现对晶圆键合界面从中心到边缘的逐步加热。本发明减少了晶圆键合界面中空洞的产生，提高了晶圆的键合强度。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注

• 申请号	专利名称	发布日期
  2021115528566	【发明】一种锂电池回转窑的废气补充冷却系统、方法及介质	2025/09/11
  2021205411636	【实用新型】一种火焰刚性强的回转窑燃烧器	2025/09/10
  2023220431067	【实用新型】一种回转窑的投料装置	2025/09/23
  2020214970555	【实用新型】一种高温双相旋转接头	2025/09/04
  2021222395526	【实用新型】一种回转窑增湿喷淋装置	2025/08/21
  2021222418886	【实用新型】一种回转窑筒体淋水冷却装置	2025/08/21
  2023228475186	【实用新型】一种回转炉进料仓排气回粉装置	2025/08/21
  2022200537204	【实用新型】一种回转窑用的窑体冷却装置	2025/08/21
  2021202903770	【实用新型】一种摆动式回转炉	2025/08/21
  202320240488X	【实用新型】回转窑密封结构	2025/08/21