晶圆键合 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

发明已授权

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆键合中的退火装置及退火方法。所述晶圆键合中的退火装置，包括加热盘；所述加热盘包括同轴设置的多个区域；多个区域相互独立加热且沿所述加热盘的中心向边缘分布，用以实现对晶圆键合界面从中心到边缘的逐步加热。本发明减少了晶圆键合界面中空洞的产生，提高了晶圆的键合强度。

📄 2017112832854 📂 H01L21_18 👤 德淮半导体有限公司 📅 2017-12-07

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一种晶圆键合自动连通管路

实用新型已授权

本实用新型公开了一种晶圆键合自动连通管路，主要涉及晶圆键合领域。包括密封外管道，所述密封外管道连通离子束刻蚀机与热压炉，使得离子束刻蚀机与热压炉之间连通；所述密封外管道内部设有晶圆移动装置和晶圆辅助定位输送装置；所述晶圆移动装置为传送带，所述晶圆辅助定位输送装置包括升降气缸、晶圆取出气缸和晶圆送入气缸。本实用新型的有益效果在于：能够实现从离子束刻蚀机到热压炉的过程无需人工手动操作，并且全程处于真空状态，减少对晶圆的损伤。

📄 2023225922563 📂 H01L21_67 👤 刘法辰 📅 2023-09-22

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CRISPR基因编辑技术

转让方：××大学
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交易类型：转让
交易金额：¥1,200万

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转让方：××半导体有限公司
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交易类型：转让
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钙钛矿光伏组件技术

转让方：××科技公司
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交易类型：开放许可
交易金额：¥50万/年

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晶圆键合中的退火装置及退火方法

一种晶圆键合自动连通管路

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