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摘 要:本发明公开了一种新型鳍式场效应晶体管及其制作方法,本发明的新型鳍式场效应晶体管,包括:基底;位于所述基底上的鳍部,所述鳍部两端形成源区和漏区;横跨所述源区和漏区中间的鳍部上表面以及两侧的栅极结构,所述鳍部上表面呈凸齿结构,所述凸齿结构凸起部分为齿部,所述鳍部上表面两齿部之间存在迁移率增强区,所述源区以及漏区在齿部顶端无掺杂,所述栅极结构嵌入所述鳍部的凸齿结构内,本发明可提高晶体管驱动电流,改善晶体管性能。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201611159376.2 | 专利名称: | 一种新型鳍式场效应晶体管及其制作方法 |
申请日: | 2016-12-15 | 申请/专利权人 | 温岭腾科电子有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省台州市温岭市大溪镇下村村大溪北路147-149号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/336搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2019-11-29 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN106653609B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2019/11/29 | 授权 | |
2019/11/26 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2019.11.07 申请人由杭州易正科技有限公司变更为温岭腾科电子有限公司 地址由310000 浙江省杭州市西湖区文三路569号康新花园B幢1303室变更为317500 浙江省台州市温岭市大溪镇下村村大溪北路147-149号 |
2019/01/18 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2018.12.29 申请人由东莞市联洲知识产权运营管理有限公司变更为杭州易正科技有限公司 地址由523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业工发区生产力大厦406变更为310000 浙江省杭州市西湖区文三路569号康新花园B幢1303室 |
2017/06/06 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/336 专利申请号: 201611159376.2 申请日: 2016.12.15 |
2017/05/10 | 公开 |