发明专利已授权

衬底浓度确定方法、装置、计算机设备及可读存储介质

Name: 衬底浓度确定方法、装置、计算机设备及可读存储介质
Brand: 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
SKU: 2020113885117
Availability: InStock

📄 申请号：CN202011388511.7 📄 发布日：2026/02/28

著录项目信息

申请日

2020-12-01

公开号

CN112366148A

公开日

2021-02-12

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_66

IPC 分类号

H01L21_66

技术画像

所属领域

半导体衬底半导体衬底掺杂浓度检测半导体工艺

应用场景

半导体制造, 晶圆检测, 集成电路工艺, 芯片质量管控

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摘要

本申请提供一种衬底浓度确定方法、装置、计算机设备及可读存储介质，涉及半导体制程技术领域。本申请通过获取不同衬底掺杂浓度的待测芯片组各自在电容相同的测试键处量测到的电容量测值，并针对每个待测芯片组，根据该待测芯片组内具有相同衬底掺杂浓度的多个待测芯片各自的电容量测值，计算该待测芯片组的电容量测差异度，而后根据不同衬底掺杂浓度的待测芯片组各自的电容量测差异度，确定待测芯片的衬底掺杂浓度与电容量测差异度之间的特性对应关系，从而根据特性对应关系确定出待测芯片的与最小电容量测差异度对应的最佳衬底掺杂浓度，以通过最佳衬底掺杂浓度最大幅度地降低对电气特性量测结果的影响，提升电气特性量测精准度及稳定性。

常见问题

这项专利是否已经下证？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220906

✅ 授权

20210305

?? 实质审查的生效：

20210212

📄 公开

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