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| 专利/申请号: | CN202011622847.5 | 专利名称: | 鳍式场效应管及其制作方法 |
| 申请日: | 2020-12-31 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | H01L29/78 分类检索 |
| 公开/公告日: | 2023-05-23 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号: | CN112802898B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量: | 4 | 所属领域: | 半导体专利转让搜索 |
应用场景:用于高性能计算芯片、低功耗电子设备、功率管理系统的器件优化;提升晶体管性能及缩小器件尺寸
摘 要:本发明公开了一种鳍式场效应管输入输出器件及其制作方法,所述鳍式场效应管输入输出器件包括:半导体衬底,具有第一表面,第一表面包括多个器件区;位于器件区表面上的多个鳍形结构;同一器件区表面上的鳍形结构的掺杂浓度相同;位于半导体衬底具有所述鳍形结构一侧表面的浅沟道隔离层,浅沟道隔离层的厚度低于鳍形结构的高度,浅沟道隔离层上方的鳍形结构表面上具有预设厚度的栅极介电层;设置在栅极介电层表面的栅极,栅极与器件区一一对应设置,所述栅极相互绝缘;至少两个所述栅极的金属功函数不同,和/或,至少两个所述器件区表面上的所述鳍形结构的掺杂浓度不同。本技术方案为鳍式场效应管输入输出器件具有多种阈值电压的设计。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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