发明专利已授权

一种机台污染监测装置及加工设备

📄 申请号：CN202011248081.9 📄 发布日：2026/07/20

著录项目信息

申请日

2020-11-10

公开号

CN112271151B

公开日

2023-04-21

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67

技术画像

所属领域

污染监测污染监测传感器半导体制造设备

应用场景

半导体制造, 液晶面板制造, 精密加工, 洁净室监测

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摘要

一种机台污染监测装置及加工设备，涉及半导体加工设备技术领域。该机台污染监测装置包括多个监测模组和分别与监测模组电连接的控制器，多个监测模组分别被配置于加工设备的多个操作机台内，用于采集每个操作机台内的污染物信息，控制器用于接收每个监测模组采集的污染物信息，并根据每个操作机台的污染物信息判定每个操作机台是否处于污染状态。该机台污染监测装置能够提高机台的污染检查效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230421

✅ 授权

20210212

?? 实质审查的生效：

20210126

📄 公开

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