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实用新型
已授权
一种管尾便于对接的石英炉管
📄 申请号:CN202220564146.9
📄 发布日:2025/12/08
著录项目信息
申请日
2022-03-16
公开号
CN217035595U
公开日
2022-07-22
申请人
苏州光协光电科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
H01L21_67
IPC 分类号
H01L21_67
,
C30B31_10
,
技术画像
所属领域
半导体热处理设备
半导体热处理设备
石英玻璃制品
管件连接结构
应用场景
半导体扩散工艺, 集成电路制造, 光伏电池制造, 光纤预制棒制造, 高温热处理设备
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摘要
本实用新型公开了一种管尾便于对接的石英炉管,具体涉及石英炉管领域,包括石英炉管管体,所述石英炉管管体的一端部外表面分别通过轴承转动连接有对接固定环和贴合连接套环,所述贴合连接套环的外表面滑动套接有外接连通套盖,所述对接固定环上设置有若干个用于卡接外接连通套盖的固定组件,所述外接连通套盖的内壁固定连接有若干个嵌入限位条,若干个所述嵌入限位条上均固定连接有卡柱。本实用新型通过设置固定组件,外接连通套盖对接以及卡接过程较为简便,操作简便,当需要进行拆卸时,通过手动滑动滑动推块,使得固定卡板脱离卡柱上的固定卡槽内,这样整个外接连通套盖就可实现拆卸的作用。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20220722
✅ 授权
一种多次扩散石英舟
当前第 / 件
一种隔热效果好的石英炉管用炉帽
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