专利交易市场

本发明公开了一种半导体的热处理设备，包括外管体，所述外管体的顶部安装有两组错位布置的圆杆，所述外管体的底壁安装有环形内管，所述外管体的外壁安装有支撑环，两组所述圆杆的外表面套接有镂空底板，所述镂空底板的顶部安装有调节板，所述调节板的顶部设置有嵌合槽，所述嵌合槽的内壁安装有两组并排布置的卡合块，两组所述卡合块的顶部均安装有直立杆，所述直立杆的外表面设置有多组上下布置的环形槽，两组所述直立杆的外表面均套接有套筒。本发明中，可控制进入环形内管中热气体的含量，同时其能够适用于多种不同尺寸的半导体晶圆，且通过采用夹持晶圆圆周表面来降低晶圆被遮挡的区域，以便其最大程度与热气体相接触。

本发明提供一种晶圆退火处理设备及退火方法，设备包括晶圆存放装置，用于存放待处理晶圆；预热装置，接收晶圆存放装置中的待处理晶圆并将其加热至第一温度；退火腔室，用于接收预热装置中的具有第一温度的待处理晶圆，并将其加热至退火温度以对待处理晶圆进行退火处理；降温装置，用于接收退火腔室中的具有退火温度的待处理晶圆，并将其降温至第二温度，以完成退火处理。通过上述方案，本发明提供的晶圆退火处理设备及方法，设置一个预热装置，缩短在退火腔室中加热的时间，大幅度提高产出；避免在退火腔室中加热时温差相对较大，导致加热灯泡的使用寿命短，更换以及维修频率较高的问题；可以提高晶圆受热均匀性，缓解晶圆处理过程中变形的问题。

本实用新型公开了一种隔热效果好的石英炉管用炉帽，具体涉及石英炉管领域，包括石英炉管主体，所述石英炉管主体的一端外表面固定套接有连接固定环，所述连接固定环上螺纹连接有石英炉管炉帽，所述石英炉管炉帽的一端固定安装有连接控制环，所述连接控制环内转动连接有阀门控制转柱，所述石英炉管炉帽内部设置有隔热空间槽。本实用新型通过设置隔热空间槽，石英炉管炉帽处通过内部设置隔热空间槽，使得石英炉管炉帽中部呈现中空降低热量传导，且通过在隔热空间槽填充石棉填充物，利用石棉的高抗张强度、高挠性、耐化学和热侵蚀、电绝缘等特点，使得其高增加热量阻隔。

本实用新型公开了一种管尾便于对接的石英炉管，具体涉及石英炉管领域，包括石英炉管管体，所述石英炉管管体的一端部外表面分别通过轴承转动连接有对接固定环和贴合连接套环，所述贴合连接套环的外表面滑动套接有外接连通套盖，所述对接固定环上设置有若干个用于卡接外接连通套盖的固定组件，所述外接连通套盖的内壁固定连接有若干个嵌入限位条，若干个所述嵌入限位条上均固定连接有卡柱。本实用新型通过设置固定组件，外接连通套盖对接以及卡接过程较为简便，操作简便，当需要进行拆卸时，通过手动滑动滑动推块，使得固定卡板脱离卡柱上的固定卡槽内，这样整个外接连通套盖就可实现拆卸的作用。