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摘 要:本实用新型公开了一种多次扩散石英舟,具体涉及石英舟技术领域,包括两个舟支板,两个所述舟支板的上方均设有调节架,两个所述调节架之间设有两个上石英棒,两个所述舟支板之间设有两个下石英棒,所述上石英棒和下石英棒上均开设有若干个插槽,所述调节架的底部固定连接有两个调节支柱,所述调节支柱的底端外表面穿设于舟支板的内部,所述舟支板上开设有流通口和两个调节槽口,且两个所述下石英棒分别位于两个所述调节槽口的内部,所述舟支板内部设有固定组件。本实用新型能有效在多次扩散使用时根据所需对石英舟进行调节,以适应不同尺寸的硅片,方便石英舟装载硅片,灵活适应性和实用性较强。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202220539854.7 | 专利名称: | 一种多次扩散石英舟 |
申请日: | 2022-03-14 | 申请/专利权人 | 苏州光协光电科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市吴江七都镇新村二路160.162.166.168 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/673搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2022-07-22 | 转让价格: | 1500.0元 |
公开/公告号: | CN217035601U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |