实用新型已授权

一种多次扩散石英舟

Name: 一种多次扩散石英舟
Brand: 苏州光协光电科技有限公司
SKU: 2022205398547
Price: 1700.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202220539854.7 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2022-03-14

公开号

CN217035601U

公开日

2022-07-22

申请人

苏州光协光电科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_673

IPC 分类号

H01L21_673 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

半导体工艺设备半导体工艺设备扩散工艺石英制品

应用场景

半导体制造, 晶圆扩散工艺, 集成电路生产

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摘要

本实用新型公开了一种多次扩散石英舟，具体涉及石英舟技术领域，包括两个舟支板，两个所述舟支板的上方均设有调节架，两个所述调节架之间设有两个上石英棒，两个所述舟支板之间设有两个下石英棒，所述上石英棒和下石英棒上均开设有若干个插槽，所述调节架的底部固定连接有两个调节支柱，所述调节支柱的底端外表面穿设于舟支板的内部，所述舟支板上开设有流通口和两个调节槽口，且两个所述下石英棒分别位于两个所述调节槽口的内部，所述舟支板内部设有固定组件。本实用新型能有效在多次扩散使用时根据所需对石英舟进行调节，以适应不同尺寸的硅片，方便石英舟装载硅片，灵活适应性和实用性较强。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN217035601U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为 1700.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种水循环式酶制剂制备用水浴恒温振荡器

当前第 / 件

一种管尾便于对接的石英炉管

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¥1700.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：106 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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📊 出价记录 (3条)

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