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实用新型
已授权
一种隔热效果好的石英炉管用炉帽
📄 申请号:CN202220564231.5
📄 发布日:2025/12/08
著录项目信息
申请日
2022-03-16
公开号
CN217149400U
公开日
2022-08-09
申请人
苏州光协光电科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
C30B31_10
IPC 分类号
C30B31_10
,
C30B31_16
,
H01L21_67
,
技术画像
所属领域
半导体热处理设备
半导体热处理设备
隔热保温结构
石英制品
应用场景
半导体制造, 光伏电池制造, 光纤预制棒加工, 高温工业炉
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摘要
本实用新型公开了一种隔热效果好的石英炉管用炉帽,具体涉及石英炉管领域,包括石英炉管主体,所述石英炉管主体的一端外表面固定套接有连接固定环,所述连接固定环上螺纹连接有石英炉管炉帽,所述石英炉管炉帽的一端固定安装有连接控制环,所述连接控制环内转动连接有阀门控制转柱,所述石英炉管炉帽内部设置有隔热空间槽。本实用新型通过设置隔热空间槽,石英炉管炉帽处通过内部设置隔热空间槽,使得石英炉管炉帽中部呈现中空降低热量传导,且通过在隔热空间槽填充石棉填充物,利用石棉的高抗张强度、高挠性、耐化学和热侵蚀、电绝缘等特点,使得其高增加热量阻隔。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种管尾便于对接的石英炉管
当前第 / 件
一种具有插片限位机构的石英舟
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未申报
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