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实用新型已授权

本申请提供了一种废液排放组件与匀胶显影机，涉及废液处理技术领域。该废液排放组件包括废液槽，用于容纳光刻胶废液；多个喷胶单元，每个喷胶单元均通过独立的第一管道与废液槽连通，且每个喷胶单元产生的光刻胶废液均通过第一管道排放至废液槽。本申请提供的废液排放组件与匀胶显影机具有不易发生废液的回灌，晶圆生产的良率高的优点。

📄 2020230888357 📂 C02F1_00 👤 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 📅 2020-12-17

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一种多次扩散石英舟

实用新型已授权

本实用新型公开了一种多次扩散石英舟，具体涉及石英舟技术领域，包括两个舟支板，两个所述舟支板的上方均设有调节架，两个所述调节架之间设有两个上石英棒，两个所述舟支板之间设有两个下石英棒，所述上石英棒和下石英棒上均开设有若干个插槽，所述调节架的底部固定连接有两个调节支柱，所述调节支柱的底端外表面穿设于舟支板的内部，所述舟支板上开设有流通口和两个调节槽口，且两个所述下石英棒分别位于两个所述调节槽口的内部，所述舟支板内部设有固定组件。本实用新型能有效在多次扩散使用时根据所需对石英舟进行调节，以适应不同尺寸的硅片，方便石英舟装载硅片，灵活适应性和实用性较强。

📄 2022205398547 📂 H01L21_673 👤 苏州光协光电科技有限公司 📅 2022-03-14

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固态锂电池电解质专利包

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CRISPR基因编辑技术

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一种多次扩散石英舟

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