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基于GaAs的频率可重构套筒偶极子天线的制备方法

Name: 基于GaAs的频率可重构套筒偶极子天线的制备方法
Brand: 西安科锐盛创新科技有限公司
SKU: 201611184781X
Availability: InStock

📄 申请号：CN201611184781.X 📄 发布日：2025/12/24

著录项目信息

申请日

2016-12-20

公开号

CN106847680B

公开日

2021-03-05

申请人

西安科锐盛创新科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_04

IPC 分类号

H01L21_04 , H01L29_66 , H01Q1_38 , H01Q7_00 , H01Q23_00 ,

技术画像

所属领域

射频天线技术射频天线技术半导体器件制造无线通信技术

应用场景

无线通信, 军事通信, 雷达系统, 射频识别, 航空航天通信

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摘要

本发明涉及一种基于GaAs的频率可重构套筒偶极子天线的制备方法。该方法包括：选取GeOI衬底；在所述GeOI衬底表面生长GaAs材料；在所述GaAs材料上按照所述套筒偶极子天线的结构制作多个SPiN二极管串；制作直流偏置线以连接所述SPiN二极管串与直流偏置电源；利用多个所述SPiN二极管串制作所述天线臂和所述套筒；制作所述同轴馈线以连接所述天线臂及所述套筒，最终形成所述套筒偶极子天线。本发明实施例的套筒偶极子天线，通过金属直流偏置线控制SPiN二极管导通，形成等离子天线臂及套筒长度的可调，从而实现天线工作频率的可重构，具有易集成、可隐身、频率可快速跳变的特点。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210305

✅ 授权

20170707

?? 实质审查的生效：

20170613

📄 公开

适用于电沉积工艺制造的微型导电环环体成型方法

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：176 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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