发明专利已授权

氧化锌薄膜及其制备方法和应用

📄 申请号：CN201810195059.9 📄 发布日：2026/08/27

著录项目信息

申请日

2018-03-09

公开号

CN108461385B

公开日

2020-04-24

申请人

湖南省盛联金属制品有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_02

IPC 分类号

H01L21_02 , C01G9_02 , B81B1_00 , B81C1_00 ,

技术画像

所属领域

薄膜材料薄膜材料半导体材料纳米材料

应用场景

光电显示, 气敏传感器, 太阳能电池, 透明导电电极, 紫外探测

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明涉及微纳材料制备技术领域，公开了一种氧化锌薄膜及其制备方法和应用，该薄膜上具有至少一个纳米环状周期性结构的图案，各纳米环状周期性结构中均具有若干纳米环；各纳米环的线宽均为40～200 nm，槽深均为40～80 nm；周期均为80～400 nm；制备方法为：制备纳米环状周期性结构的光刻胶母板；使用该母板通过软纳米压印光刻技术制备纳米环状周期性结构的柔性转移模板；将柔性转移模板置于已经旋涂成膜的氧化锌前聚体上，加热加压后移除柔性转移模板得氧化锌薄膜。本发明中的氧化锌薄膜结晶程度高，形貌均匀有序，能实现对光的有序调控，增强电子迁移复合，具有广阔的应用前景。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种移位递进式自动换水系统

当前第 / 件

一种应用于NR-V2X系统的物理层安全通信方法

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_02)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：10 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)