实用新型已授权

一种硅片载板加工固定夹具

📄 申请号：CN202421985114.1 📄 发布日：2026/08/11

著录项目信息

申请日

2024-08-16

公开号

CN223206257U

公开日

2025-08-08

申请人

厦门市俊亦精密机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_687

IPC 分类号

H01L21_687 , H01L21_68 , H10F71_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备机械夹具定位工装

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 集成电路制造, 光伏电池制造

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摘要

本实用新型公开一种硅片载板加工固定夹具，所述固定夹具用于固定吸附在吸附平台上的载板，所述载板的边角处均开设有定位槽，所述固定夹具可嵌入于所述定位槽中，通过将朝向互相垂直的纠偏头嵌入于安装在位于载板两侧定位槽中，实现载板四个边角的定位，纠偏头和定位杆为一组一共设置有八个，每两个纠偏头和定位杆分别定位载板的四个边角，可以避免载板偏转，同时球形的纠偏头和第一凹槽可以便于对偏离位置的载板进行定位，不容易发生偏移倾斜的现象，将载板限制在一个较小的范围内，提高负压孔处负压的稳定性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种硅片载板校准平台

当前第 / 件

一种汽车减震器支撑支架

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_687)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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