实用新型已授权

一种硅片载板校准平台

Name: 一种硅片载板校准平台
Brand: 厦门市俊亦精密机械有限公司
SKU: 2024219832456
Availability: InStock

📄 申请号：CN202421983245.6 📄 发布日：2026/08/11

著录项目信息

申请日

2024-08-15

公开号

CN223006759U

公开日

2025-06-20

申请人

厦门市俊亦精密机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_68

IPC 分类号

H01L21_68 , H10F71_00 ,

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备晶圆载板定位校准

应用场景

半导体制造, 晶圆运输, 光刻工艺, 芯片封装

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型提供了一种硅片载板校准平台，包括两间隔布置的支撑杆，两所述支撑杆之间设置有剪叉式折叠架，所述剪叉式折叠架固设有若干等距布置的平移板，由所述剪叉式折叠架的伸缩运动带动若干所述平移板以平移的方式相互张开或者相互靠拢；所述平移板的底部沿其长度方向可调节的固设有若干校准定位块，所述校准定位块的尺寸等同于载板的镀膜窗口尺寸。通过剪叉式折叠架可以调节校准定位块的间距，最终调节制成后两镀膜窗口的间距，使得镀膜窗口的间距可调节至合适距离，可防止硅片在镀膜窗口的间距过近或过远影响镀膜效果，保证镀膜窗口的尺寸精准。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN223006759U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种弯头桥架

当前第 / 件

一种硅片载板加工固定夹具

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_68)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_98 覆盖39个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：46 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)