发明专利已授权

基于蚕丝纤维的图案化半导体聚合物薄膜制备方法

📄 申请号：CN201510629271.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2015-09-29

公开号

CN105355543B

公开日

2017-12-22

申请人

淮北师范大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_027

IPC 分类号

H01L21_027 , G03F7_20 ,

技术画像

所属领域

薄膜制备有机半导体材料功能高分子材料薄膜图案化薄膜制备

应用场景

柔性电子, 有机光电器件, 生物传感器, 可穿戴电子设备, 智能纺织品

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摘要

基于蚕丝纤维的图案化半导体聚合物薄膜制备方法，主要用于制备半导体聚合物薄膜材料的微纳图案化，该方法包括：首先采用曝光技术在光刻胶薄膜表面制备所需聚合物薄膜微纳图案的互补尺寸；其次将未交联的PDMS材料涂在有图案的光刻胶薄膜表面，进行热交联处理后取下，光刻胶图案就转移到PDMS薄膜软模板的表面；再者将有微纳图案的PDMS薄膜放在蚕丝纤维水溶液上面，室温干燥处理后就可以制备有微纳结构的蚕丝纤维薄膜；最后将蚕丝纤维薄膜作为模板，利用纳米压印技术就可以实现不同半导体聚合物薄膜的图案化。该制备方法具有步骤简单、低成本、大面积和操作条件要求低等优点，尤其适用于刚性强或者室温图案化的有机半导体材料，具有良好的实际应用价值。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种超长棒状聚3-己基噻吩晶体的制备方法

当前第 / 件

一种氧化锆增强钼合金棒材的制备方法

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