本发明涉及光刻机物镜技术领域,尤其为一种光刻机物镜结构,包括物镜主体、水冷装置和散热装置,所述物镜主体外侧与水冷装置固定连接,所述水冷装置远离物镜主体的一侧与散热装置固定连接,所述物镜主体包括外壳、镜片主体和定位装置,所述外壳的个数共有四个,且四个所述外壳在镜片主体外侧呈均匀分布,所述镜片主体外侧设置在外壳一侧,本发明中,通过设置的外壳、镜片主体、固定盖、定位装置、夹持块、推板、螺丝、连接板、定位环、螺栓和定位主体,可以方便的对镜片主体和水冷装置进行组装,同时在夹持板对外壳进行夹持时,在第一弹簧的作用下,使限位板可以对两个外壳进行夹持,使外壳安装更加稳定,方便对镜片主体进行安装和拆卸。
📄 202310719268X
📂 G03F7_20
👤 张家港奇点光电科技有限公司
📅 2023-06-16
本实用新型涉及印刷技术领域,公开了一种用于测温贴加工的树脂版晒版机,包括机体,所述机体上端面两侧靠前后处均固定开设有安装槽,四个所述安装槽内部均固定连接有电伸缩杆,四个所述电伸缩杆的上端面固定连接有盖板,所述盖板的下端面中心处固定开设有放置槽,所述放置槽上端面固定连接有多个紫外线照射灯,所述机体上端面中心处固定开设有凹槽,所述凹槽两侧内壁靠上和靠中部处分别固定连接有放置板和加热网,所述凹槽一侧内壁靠下处固定开设有驱动槽,所述驱动槽内部固定设置有一号驱动电机。本实用新型中,具有更好的定型作用以及冷却效果,同时具有更好的稳定和移动该装置的作用。
📄 2022220817424
📂 G03F7_20
👤 苏州瀚群电子材料有限公司
📅 2022-08-09
本申请涉及一种晒版机自动收版装置,其包括导料架,所述导料架的左侧设置有晒版机,且导料架的右侧固定连接有收料车,所述导料架的上表面左侧转动安装有传送台,且导料架的上表面右侧活动铰接有拨料板,且拨料板的侧面固定连接有伺服电机,所述收料车的上表面左侧活动铰接有收料板,所述收料板的上表面在靠近牵引环的一侧固定安装有限位板,且收料板的下表面固定安装有顶梁座,所述收料车的上表面开设有槽体,所述槽体的内部活动铰接有液压缸,所述液压缸的驱动端固定安装有液压杆,所述液压杆在远离液压缸的一端与顶梁座固定连接,利用槽体将液压缸和液压杆收纳,从而保证收料板在收料车上表面水平,提高印版的稳定性和收料板收料的效率。
📄 2021204711224
📂 G03F7_20
👤 合肥华星印务有限责任公司
📅 2021-03-04
已申报项目
本实用新型公开了一种IC引线框架无缝曝光机双层对位控制机构,包括下平台底部台面、下平台中间层台面部件,所述下平台底部台面的端部斜对角端设有底层Y向主传动支撑部件,通过下平台上层台面为上层Y向主动支撑部件,上层从动传动支撑部件及上层X向主动支撑部件提供了组装平台,同时上层Y向主动支撑部件、上层从动传动支撑部件及上层X向主动支撑部件的传动调节配合下,来实现上玻璃平台的X向、Y向及旋转的运动,从而让工件在曝光时进行角度的调节旋转,通过上述的部件之间的配合连动下运行达到控制下玻璃平台和上玻璃平台对工件角度调节后的精准对位,进一步提高工件的曝光效率。
📄 202322856168X
📂 G03F7_20
👤 昆山建高远自动化科技有限公司
📅 2023-10-24
本实用新型公开了一种IC引线框架无缝曝光机的平行光源控制机构,包括支架、固定板、旋转调节组件,支架上安装上下两组投射光源,固定板设置两组且连接在支架内部,固定板上转动连接有平行光镜,两组平行光镜之间安装有两组曝光玻璃平台,且两组曝光玻璃平台与支架连接,旋转调节组件连接在支架和平行光镜之间,用于调节平行光镜的角度,通过反光镜和平行光镜对投射光源发出的光线进行反射,增大投射光源的曝光范围,并提高曝光效果,使用旋转调节组件可以改变平行光镜的角度,使得照射到曝光玻璃平台上的光线可以调节,帮助调节投射光源的照射方向,拧动第一螺母和第二螺母即可调节,操作简单,提高了调试效率。
📄 2023225131904
📂 G03F7_20
👤 昆山建高远自动化科技有限公司
📅 2023-09-15
本实用新型公开了一种新能源电池发热膜大台面曝光机的菲林调节机构,包括安装在曝光机上的上框工作台,所述上框工作台的底端设置有对产品抽真空后进行菲林定位的真空膜固定机构,通过手动转盘带动调节丝杆转动,且调节丝杆带动驱动块调节运动,并且使驱动块连接的左侧悬浮调节固定板、右侧悬浮调节固定板能在任意方向运动,便可使上菲林板进行位置的调节运动,从而可根据产品位置情况,通过丝杆安装座、调节丝杆、连接固定座和驱动块、手动转盘的相互配合下,左侧悬浮调节固定板、右侧悬浮调节固定板运动,进而可以控制调节真空膜固定机构在上框工作台的位置,为上菲林板提供了位置调节功能,进而达到与产品精准对位的目的。
📄 2023225131800
📂 G03F7_20
👤 昆山建高远自动化科技有限公司
📅 2023-09-15
本实用新型公开了一种IC引线框架光刻机双光源控制机构,包括机体、上平行光源反射镜、下平行光源反射镜,所述机体上部通过隔板分隔有操控区,所述机体下部通过隔板分隔有扫描区,所述上平行光源反射镜设于机体上且位于操控区左侧,所述上平行光源反射镜底部设有上平行光源且位于上平行光源反射镜和上平行光源之间设有上扫描光源,所述下平行光源反射镜设于扫描区内且下平行光源反射镜顶部设有下平行光源且下平行光源顶部设有下扫描光源,所述机体上设有上扫描轨道,所述上扫描光源顶部滑动连接于上扫描轨道上,通过操作面板根据芯片基片保护层上的不同材料,控制保护层所需要的光源,对光源进行独立控制。
📄 202322046214X
📂 G03F7_20
👤 昆山建高远自动化科技有限公司
📅 2023-08-01
本实用新型公开了一种PIN针自动修正式卷对卷曝光机,包括支架、上框、下框、曝光机构,支架上安装有水平拉料器和张力器,支架表面中部设有安装台,上框上表面安装有上气缸,上气缸与安装台连接,且上框内部安装有上玻璃片,下框,下框下表面设有下气缸;下气缸与支架连接,且下框内部安装有下玻璃片,下玻璃片表面安装有四组PIN针,PIN针对料带进行定位,PIN针受到下气缸的控制而上移,使得PIN针插进料带表面的定位孔中,可以对偏移的料带进行修正,使得料带与曝光机构精准对齐,提高料带曝光精度,对于料带自动放料、曝光、自动收料,均不需要人工参与,自动化程度高,减少人为因素导致产品不良。
📄 2023213108860
📂 G03F7_20
👤 昆山建高远自动化科技有限公司
📅 2023-05-28
本实用新型公开了一种超长工件图形转移曝光机,包括机架,所述机架的上端设有上框架,所述上框架的拐角处设有锁框机构,所述上框架上方安装的上灯扫描轨道滑接有上LED扫描光源,所述上框架的底部通过下灯扫描轨道支撑架设有下灯扫描轨道,所述下灯扫描轨道上滑接有下LED扫描光源,所述下灯扫描轨道支撑架中部安装有LED光源控制系统。所述机架的左前端安装有曝光机控制操作面板,所述曝光机控制操作面板电性连接于LED光源控制系统。本实用新型通过曝光机控制操作面板控制锁框机构将上框架锁框吸真空,曝光等按钮,实现超长工件图转移,工作效率高,上框架的锁紧定位效果好,有利于超长工件板精确定位,保证曝光质量。
📄 2022204047562
📂 G03F7_20
👤 昆山建高远自动化科技有限公司
📅 2022-02-24
已申报项目
本实用新型公开了一种自动对位自动调节曝光平台结构,包括底座,所述底座中设有通孔,通孔内设有升降机构,底座上横移模组,该横移模组的驱动端装设有底板,底板上设有支撑板,支撑板上设有滑块,滑块与滑轨连接,滑轨安装在立架上,立架顶部装设有顶板,底板上设有顶针,顶板上设有顶针孔,顶针从项针孔中活动穿过,顶板与升降机构连接,底板两侧分别设有视觉调节机构。本实用新型方便调节顶板高度位置,解决了对于高精度微线路曝光重复精度的问题,提升稳定性和生产良率。
📄 2023216499298
📂 G03F7_20
👤 河源市璐悦自动化设备有限公司
📅 2023-06-27
本发明提供了一种可调式芯片卡具的使用方法,其特征包括以下步骤:第一步,准备;第二步,固定芯片;(a)若是大尺寸、矩形芯片,选择带有一对夹片横移动板和一对夹片纵移动板的载物夹片;(b)若是大尺寸、圆形芯片,选择带有弧形移动板、纵固定板、横固定板的载物夹片;(c)若是小尺寸、圆形或矩形芯片,选择带有弧形移动板、纵固定板、横固定板的载物夹片;第三步,固定加工台位置;第四步,加工芯片;第五步,完成。本发明的有益效果是,使用方法灵活,操作简便;即可对不同形状和尺寸大小的芯片加工工件实现固定,还能够精确进行三维坐标的调整;不仅缩短了操作时间,提高了效率,而且精确找准与准确读数也更加容易,确保了加工精密度。
📄 2018110396249
📂 G03F7_20
👤 重庆科技学院
📅 2018-09-06
本实用新型公开了一种柔性树脂版底曝光机,包括曝光机主体、固定模块、抚平模块、推动模块;其中,所述推动模块包括直线导轨、滚珠滑块、矩形框;所述抚平模块包括两个双向丝杆,两个所述双向丝杆的两端分别设有两段螺纹方向相反的螺纹。本实用新型当需要对柔性树脂版底进行曝光时,将柔性树脂版底放置在矩形框的底部,通过固定模块,使两个梅花头螺栓对柔性树脂版底的两侧中部进行固定,通过抚平模块,使两个抚平辊向相互远离的方向移动,使两个抚平辊对柔性树脂版底的褶皱进行抚平,通过推动模块,使柔性树脂版底进入到曝光机主体,对柔性树脂版底进行曝光。
📄 2024213358061
📂 G03F7_20
👤 青岛龙彩制版有限公司
📅 2024-06-12