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发明专利
已授权
一种具有高适配性的半导体芯片智能制造系统
📄 申请号:CN202210342958.3
📄 发布日:2026/06/22
著录项目信息
申请日
2022-04-02
公开号
CN114823419B
公开日
2022-11-22
申请人
济南钜邦信息技术有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L21_67
IPC 分类号
H01L21_67
,
B07C5_34
,
B07C5_38
,
B08B5_04
,
技术画像
所属领域
半导体芯片
智能制造系统
自动控制系统
柔性制造系统
半导体芯片
应用场景
半导体芯片制造, 集成电路制造, 晶圆制造, 半导体封装测试, 智能工厂
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摘要
本发明提供了一种具有高适配性的半导体芯片智能制造系统,包括数据库、运输模块、采集模块、标记模块、核验模块、筛选模块和处理器,运输模块用于对芯片进行运输,并运送到各个工位中;采集模块用于对芯片的位置进行采集,以采集芯片的当前位置和加工温度;标记模块用对芯片进行打标,并标记芯片的加工数据;核验模块用于对芯片的打标样式和标记的位置进行核验,以调整在不同位置的标记;筛选模块用于对芯片进行筛选,以区分不同规格芯片类型;本发明通过采用夹持构件与标记单元的配合,使得对芯片进行标记的过程中,能对标记内容的位置进行精准的调整,同时,还兼顾芯片的不同姿势调整标记的角度,有效提升芯片标记的可靠性和精准性。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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📌 交易状态:
在售
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