实用新型已授权

一种半导体显影设备的传输装置

📄 申请号：CN202022045266.1 📄 发布日：2026/05/19

著录项目信息

申请日

2020-09-17

公开号

CN212907678U

公开日

2021-04-06

申请人

昆山首佳智能科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_677

IPC 分类号

H01L21_677 , G03F7_30 ,

技术画像

所属领域

传输装置半导体设备晶圆传输显影设备传输装置

应用场景

半导体制造, 晶圆传输, 光刻显影, 集成电路制造

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摘要

本实用新型涉及一种半导体显影设备的传输装置，包括容纳盒，所述容纳盒包括上盖，底座，支架和支撑板，上盖和底座之间设有多个容纳腔，相邻容纳腔之间通过支撑板间隔，所述支撑板两侧设置支架，多个支架沿竖直方向设置，支架、底座、上盖和支撑板均设有通孔，螺钉穿设在通孔中并通过螺母锁紧，所述支撑板包括第一支撑臂和第二支撑臂，第一支撑臂和第二支撑臂对称设置且与支架连接。本实用新型的一种半导体显影设备的传输装置能够通过容纳盒容纳多件产品，可以同时输送大量产品，输送效率较高；此外，其组装和拆卸方式，方便能够根据产品进行尺寸调整。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种半导体刻蚀设备

当前第 / 件

一种自动冷热恒温定型抓帮流水线鞋机

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_677)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：126 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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